恭喜厦门通富微电子有限公司聂伟获国家专利权
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龙图腾网恭喜厦门通富微电子有限公司申请的专利导向治具及晶圆料盒获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN219728893U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202223285057.X,技术领域涉及:B65D25/02;该实用新型导向治具及晶圆料盒是由聂伟;林育全;连锦滨;陈志远设计研发完成,并于2022-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本导向治具及晶圆料盒在说明书摘要公布了:本申请公开了一种导向治具及晶圆料盒,包括:壳体,壳体一端敞口,且壳体具有放置晶圆的容纳腔,容纳腔相对的侧壁上对应开设有支撑槽,支撑槽用于支撑晶圆;导向槽,导向槽位于壳体相对的两侧,且自支撑槽靠近壳体敞口的一端向壳体外部延伸设置,并与支撑槽连通,用于晶圆进出支撑槽。本申请的导向治具避免了在放置晶圆时容易倾斜或碰撞,造成的晶圆破损或损伤的问题,有效提高了晶圆良品率,同时解决了后续研磨作业扫描报警的问题,提高了生产效率。
本实用新型导向治具及晶圆料盒在权利要求书中公布了:1.导向治具,其特征在于,包括:壳体,所述壳体一端敞口,且所述壳体具有放置晶圆的容纳腔,所述容纳腔相对的侧壁上对应开设有支撑槽,所述支撑槽用于支撑所述晶圆;导向槽,所述导向槽位于所述壳体相对的两侧,且自所述支撑槽靠近所述壳体敞口的一端向所述壳体外部延伸设置,并与所述支撑槽连通,用于晶圆进出所述支撑槽;所述导向槽的长度为90mm-110mm,位于所述容纳腔两侧的所述导向槽之间的最大距离为300mm-310mm,位于所述容纳腔两侧的所述导向槽之间的最小距离为230mm-238mm。
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