恭喜苏州鑫泓电子科技有限公司顾卫明获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州鑫泓电子科技有限公司申请的专利一种内置空气腔的含氟密封圈获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN219734210U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202320253214.4,技术领域涉及:F16J15/10;该实用新型一种内置空气腔的含氟密封圈是由顾卫明;赵福庆;袁春阳设计研发完成,并于2023-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种内置空气腔的含氟密封圈在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种内置空气腔的含氟密封圈,属于半导体零件密封技术领域,以解决现有内置空气腔的含氟密封圈通常应用于动态密封,维持结构整体的真空密封效果较差,而且内置的密封圈大都由人工手动捏持进行装配,装配过程繁琐费事,致使其整体装配效率较低的问题,包括:橡胶密封圈,所述橡胶密封圈一侧设有安装套筒;所述橡胶密封圈另一侧设有校准筒,且校准筒位于安装套筒内;所述橡胶密封圈内设有滑环。本实用新型中环形密封环位于橡胶密封圈的装载腔内,配合橡胶密封圈的传输腔内的滑环,能够有效对环形密封环进行限位,避免其动态密封时发生松动,保证半导体零件维持较高的真空度,从而确保橡胶密封圈整体的密封性能。
本实用新型一种内置空气腔的含氟密封圈在权利要求书中公布了:1.一种内置空气腔的含氟密封圈,其特征在于:内置空气腔的含氟密封圈,包括:橡胶密封圈1,所述橡胶密封圈1一侧设有安装套筒2;所述橡胶密封圈1另一侧设有校准筒3,且校准筒3位于安装套筒2内;所述橡胶密封圈1内设有滑环4;所述橡胶密封圈1内设有环形密封环5。
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