恭喜河南省华兴隆新能源科技有限公司邹俊卓获国家专利权
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龙图腾网恭喜河南省华兴隆新能源科技有限公司申请的专利一种硅片清洗专用架获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN219738925U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202321325780.8,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种硅片清洗专用架是由邹俊卓;姜电华;昝将林;王志勇设计研发完成,并于2023-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片清洗专用架在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种硅片清洗专用架,涉及硅片清洗技术领域,包括防粘连单元和放置架;所述放置架的上下表面均设置有支座,外部取料机械手通过支座对放置架进行搬运移动,所述放置架的侧面设置有调节单元,所述放置架的两侧分别滑动连接有锯齿架,所述锯齿架连接所述调节单元,所述两个锯齿架的相对侧面上均等距离设置有插片槽、凹槽和所述防粘连单元。有益效果在于:本实用新型,通过导流板、滑座和卷轮使得线绳处于绷紧状态,避免线绳触碰到硅片,通过导流板、滑座、滑杆和弹簧一使得线绳在相邻的两个硅片之间进行移动,对两个相邻硅片之间水流进行扰乱,避免水流使得硅片粘连从而影响硅片清洗的质量。
本实用新型一种硅片清洗专用架在权利要求书中公布了:1.一种硅片清洗专用架,其特征在于,包括:防粘连单元(2)和放置架(3);所述放置架(3)的上下表面均设置有支座(1),所述放置架(3)的侧面设置有调节单元(4),所述放置架(3)的两侧分别滑动连接有锯齿架(6),所述锯齿架(6)连接所述调节单元(4),两个所述锯齿架(6)的相对侧面上均等距离设置有插片槽(7)、凹槽(8)和所述防粘连单元(2),所述防粘连单元(2)包括有通槽(21)、滑座(24)和线绳(29),所述通槽(21)贯穿所述锯齿架(6)和所述放置架(3),所述放置架(3)上的所述通槽(21)内等距离设置有滑杆(22),所述滑杆(22)位于相邻的两个所述插片槽(7)之间,所述滑杆(22)上套接有弹簧一(23),所述弹簧一(23)连接所述锯齿架(6)和所述滑座(24),所述滑座(24)的两侧倾斜设置有导流板(25),所述滑座(24)滑动连接所述滑杆(22),所述滑座(24)内设置有收卷组件,所述线绳(29)的两端分别连接所述滑座(24)内的所述收卷组件。
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