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龙图腾网恭喜通威太阳能(安徽)有限公司申请的专利一种碱抛光高效PERC电池及其制备工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN109888061B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910221259.1，技术领域涉及：H01L31/18；该发明授权一种碱抛光高效PERC电池及其制备工艺是由陈世琴;张玉前;庞三凤;苏世杰;郑云龙设计研发完成，并于2019-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种碱抛光高效PERC电池及其制备工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种碱抛光高效PERC电池的制备工艺，包括以下步骤：步骤S01、制绒；步骤S02、扩散；步骤S03、SE工艺；步骤S04、热氧；步骤S05、去PSG；步骤S06、碱抛光；步骤S07、退火；步骤S08、背钝化；步骤S09、背膜；步骤S10、正膜；步骤S11、激光开槽；步骤S12、印刷烧结：经过丝网印刷完成背面和正面印刷，然后进行烧结工艺；步骤S13、电注入：通过光衰炉或者电注入炉；步骤S14、测试分检：最后对电池片进行电池测试分档。本发明还公开了一种碱抛光高效PERC电池。本发明中增加SE后高温热氧工艺流程，在正面SE区域高温生长一层二氧化硅保护层，SE区域的金字塔绒面得到有效的保护，此工艺流程可保证SE碱抛PERC电池的稳定连续生产。

本发明授权一种碱抛光高效PERC电池及其制备工艺在权利要求书中公布了：1.一种碱抛光高效PERC电池的制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤S001、制绒：单晶硅片经过表面制绒获得良好的绒面结构；步骤S002、扩散：通入三氯氧磷和硅片进行反应，实现扩散制结；步骤S003、SE工艺：选择性发射极在轻掺杂的硅衬底上，通过微米尺寸的激光束有选择性地进行杂质原子的重掺杂；步骤S004、热氧：在SE工艺后增加高温热氧工艺，高温热氧的温度为500°-800°，在硅片表面生产沉积一层初级二氧化硅保护层（4）；步骤S005、去PSG：经过去PSG将边缘PN结刻蚀去除；步骤S006、碱抛光：采用碱性溶液对硅片进行碱抛光；步骤S007、退火：对碱抛光后的硅片进行退火，在硅片表面生产沉积一层次级二氧化硅层（6）；步骤S008、背钝化：在硅片背部通过ALD或PECVD方式沉积一层三氧化二铝钝化膜层（5）；步骤S009、背膜：在硅片的背面生长沉积一层氮化硅膜（7）；步骤S010、正膜：在硅片的正面生长沉积一层氮化硅膜（7）；步骤S011、激光开槽：对镀膜后的硅片背面进行激光开槽；步骤S012、印刷烧结：经过丝网印刷完成背面和正面印刷，然后进行烧结工艺；步骤S013、电注入：通过光衰炉或者电注入炉；步骤S014、测试分检：最后对电池片进行电池测试分档；采用所述碱抛光高效PERC电池的制备工艺制得的碱抛光高效PERC电池，包括硅基体（1），所述硅基体（1）正面设置有N+区（2），所述N+区（2）中有重掺杂区域（3），所述重掺杂区域（3）的上方设置有初级二氧化硅保护层（4），且N+区域（2）上还沉积有次级二氧化硅层（6），所述硅基体（1）背面设置有三氧化二铝钝化膜层（5）；所述初级二氧化硅保护层（4）和次级二氧化硅层（6）上生长沉积有氮化硅膜（7），所述三氧化二铝钝化膜层（5）下方生长沉积有氮化硅膜（7），所述硅基体（1）正面和背面依次设置有正电极（9）和背电极（8）。

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