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龙图腾网恭喜四川知微传感技术有限公司申请的专利一种MEMS陀螺仪获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN109945850B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910261769.1，技术领域涉及：G01C19/5621；该发明授权一种MEMS陀螺仪是由王志;周骏;王龙峰;山永启;雷龙海设计研发完成，并于2019-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS陀螺仪在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MEMS陀螺仪，包括：第一框架、第二框架、第三框架、第四框架、第一梁、第二梁、第三梁、第四梁、第五梁、第六梁、第七梁、第八梁、第九梁、第十梁、第十一梁、第十二梁、第十三梁、第十四梁、第一梳齿电极、第二梳齿电极、第三梳齿电极、第四梳齿电极、第五梳齿电极、第六梳齿电极、第七梳齿电极、第八梳齿电极、第九梳齿电极、第十梳齿电极、第十一梳齿电极、第十二梳齿电极、第十三梳齿电极、第十四梳齿电极以及第一锚点、第二锚点、第三锚点、第四锚点；该陀螺仪可有效抑制加速度和振动引起的测量误差，从而提高器件性能；该结构电极排布方式可抑制检测电极静电力的不利影响，也有利于提高器件的性能。

本发明授权一种MEMS陀螺仪在权利要求书中公布了：1.一种MEMS陀螺仪，其特征在于，所述MEMS陀螺仪包括：第一框架1a、第二框架1b、第三框架2a、第四框架2b、第一梁3a、第二梁3b、第三梁3c、第四梁3d、第五梁4a、第六梁4b、第七梁4c、第八梁4d、第九梁4e、第十梁4f、第十一梁4g、第十二梁4h、第十三梁5a、第十四梁5b、第一梳齿电极6a、第二梳齿电极6b、第三梳齿电极6c、第四梳齿电极7a、第五梳齿电极7b、第六梳齿电极7c、第七梳齿电极8a、第八梳齿电极8b、第九梳齿电极8c、第十梳齿电极8d、第十一梳齿电极9a、第十二梳齿电极9b、第十三梳齿电极9c、第十四梳齿电极9d以及第一锚点10a、第二锚点10b、第三锚点10c、第四锚点10d；第一梁3a和第三梁3c的一端均与第一框架1a的左侧面连接，第一梁3a的另一端和第三梁3c的另一端分别与第一锚点10a和第三锚点10c连接；第二梁3b和第四梁3d一端均与第二框架1b的右侧面连接，第二梁3b的另一端和第四梁3d一端的另一端分别与第二锚点10b和第四锚点10d连接；第五梁4a、第六梁4b、第七梁4c、第八梁4d,将第一框架1a与第三框架2a连接,第三框架2a位于第一框架1a内；第九梁4e、第十梁4f、第十一梁4g、第十二梁4h将第二框架1b与第四框架2b连接，第四框架2b位于第二框架1b内；第十三梁5a的两端分别与第一框架1a的右侧和第二框架1b的左侧连接，第十四梁5b的两端分别与第一框架1a的右侧和第二框架1b的左侧连接；第一框架1a与第二框架1b、第三框架2a与第四框架2b关于Y轴对称；第一梳齿电极6a和第四梳齿电极7a均与第一框架1a的左侧面连接；第二梳齿电极6b和第五梳齿电极7b均与第二框架1b的右侧面连接；第二梳齿电极6b与第一梳齿电极6a关于Y轴对称，第五梳齿电极7b与第四梳齿电极7a关于Y轴对称；第三梳齿电极6c的两侧分别与第一框架1a的右侧面和第二框架1b的左侧面连接，第六梳齿电极7c的两侧分别与第一框架1a的右侧面和第二框架1b的左侧面连接；第七梳齿电极8a、第八梳齿电极8b、第十一梳齿电极9a、第十二梳齿电极9b位于第三框架2a内，第七梳齿电极8a的两侧、第八梳齿电极8b的两侧、第十一梳齿电极9a的两侧、第十二梳齿电极9b的两侧分别与第三框架2a的左右内壁连接；第九梳齿电极8c、第十梳齿电极8d、第十三梳齿电极9c、第十四梳齿电极9d位于第四框架2b内，第九梳齿电极8c的左右两侧、第十梳齿电极8d的左右两侧、第十三梳齿电极9c的左右两侧、第十四梳齿电极9d的左右两侧分别与第四框架2b的左右内壁连接；第七梳齿电极8a与第八梳齿电极8b、第十一梳齿电极9a与第十二梳齿电极9b、第九梳齿电极8c与第十梳齿电极8d、第十三梳齿电极9c与第十四梳齿电极9d均关于X轴对称；其中，第七梳齿电极8a与第九梳齿电极8c的锚点电气连通、第八梳齿电极8b与第十梳齿电极8d的锚点电气连通、第十一梳齿电极9a与第十三梳齿电极9c的锚点电气连通以及第十二梳齿电极9b与第十四梳齿电极9d的锚点电气连通；以及，第七梳齿电极8a、第八梳齿电极8b、第九梳齿电极8c、第十梳齿电极8d锚点上的电压相同。

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