恭喜台湾积体电路制造股份有限公司陈鹏任获国家专利权
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龙图腾网恭喜台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利系统故障定位系统和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111125985B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911051432.4,技术领域涉及:G06F30/392;该发明授权系统故障定位系统和方法是由陈鹏任;郑文豪;陈俊宏;陈健辉设计研发完成,并于2019-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本系统故障定位系统和方法在说明书摘要公布了:提供系统故障定位系统和方法,该方法利用计算GDS辅助导航来加速物理故障分析以识别系统故障位置和图案。在一些实施例中,一种方法包括检测半导体晶圆的多个管芯的多个电故障区域。生成与多个电气故障区域相关联的分解的图形数据库系统GDS跨层剪辑。基于分解的GDS跨层剪辑识别多个跨层公共图案。可以针对每个跨层公共图案确定归一化差分,并且可以基于确定的归一化差分来识别每个管芯中的热点的位置。
本发明授权系统故障定位系统和方法在权利要求书中公布了:1.一种系统故障定位的方法,包括:检测半导体晶圆的多个管芯的多个电气故障区域;基于存储在图形数据库系统数据库中的与检测到的电气故障区域相关联的图形数据库系统电子文件,生成与所述多个电气故障区域相关联的分解的图形数据库系统跨层剪辑,生成所述分解的图形数据库系统跨层剪辑包括:从所述图形数据库系统数据库访问与电气故障区域相关联的图形数据库系统剪辑,每个所述图形数据库系统剪辑表示在相应的一个电气故障区域中的管芯的层;和通过合并与相应电气故障区域相关联的所述图形数据库系统剪辑,为电气故障区域生成合并的图形数据库系统剪辑;以及基于所述分解的图形数据库系统跨层剪辑识别多个跨层公共图案。
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