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龙图腾网恭喜日本电子株式会社申请的专利带电粒子束装置的焦点调整方法和带电粒子束装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112309809B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010709688.6，技术领域涉及：H01J37/21；该发明授权带电粒子束装置的焦点调整方法和带电粒子束装置是由冢本一德;千叶悠希设计研发完成，并于2020-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本带电粒子束装置的焦点调整方法和带电粒子束装置在说明书摘要公布了：提供能够降低磁场透镜的磁滞影响的带电粒子束装置的焦点调整方法。一种包含用于调整焦点的磁场透镜、以及像散校正器的带电粒子束装置的焦点调整方法，包含以下工序：使磁场透镜的励磁电流在焦点搜索范围内变化来取得焦点相互不同的多个第1图像，基于多个第1图像来决定励磁电流的基准值；在使磁场透镜的励磁电流在焦点搜索范围内变化的前后，将磁场透镜的励磁电流设为焦点搜索范围外来进行磁场透镜的磁滞消除；以及一边以基准值为基准使磁场透镜的励磁电流变化，一边在各励磁电流处使像散校正器的瑕疵校正值变化来取得焦点及像散相互不同的多个第2图像，基于多个第2图像来求励磁电流的最佳值和瑕疵校正值的最佳值。

本发明授权带电粒子束装置的焦点调整方法和带电粒子束装置在权利要求书中公布了：1.一种带电粒子束装置的焦点调整方法，是包含用于调整焦点的磁场透镜、以及像散校正器的带电粒子束装置的焦点调整方法，其特征在于，按顺序进行以下工序：在使上述磁场透镜的励磁电流在焦点搜索范围内变化之前，将上述磁场透镜的励磁电流设为上述焦点搜索范围外来进行上述磁场透镜的磁滞消除；使上述磁场透镜的励磁电流在上述焦点搜索范围内变化来取得焦点相互不同的多个第1图像；在使上述磁场透镜的励磁电流在上述焦点搜索范围内变化之后，将上述磁场透镜的励磁电流设为上述焦点搜索范围外来进行上述磁场透镜的磁滞消除；基于上述多个第1图像来决定上述磁场透镜的励磁电流的基准值；以及一边以上述基准值为基准使上述磁场透镜的励磁电流变化，一边在各励磁电流处使上述像散校正器的瑕疵校正值变化来取得焦点及像散相互不同的多个第2图像，基于上述多个第2图像来求上述磁场透镜的励磁电流的最佳值和上述瑕疵校正值的最佳值。

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