联华电子股份有限公司陈东郁获国家专利权
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龙图腾网获悉联华电子股份有限公司申请的专利内连线结构、内连线布局结构及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112838070B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110178192.5，技术领域涉及：H01L23/522；该发明授权内连线结构、内连线布局结构及其制作方法是由陈东郁;林佳芳设计研发完成，并于2016-01-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本内连线结构、内连线布局结构及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种内连线结构、内连线布局结构及其制作方法。该内连线结构包括基底，该基底上设置有绝缘材料。多条导线设置在该基底上并且被该绝缘材料覆盖，其中在一顶视图中，该多条导线沿着第一方向纵长地延伸并沿着第二方向平行排列，该第一方向与该第二方向互相垂直。多个气隙设置在该多条导线之间的该绝缘材料中，并且以端点对端点的方式沿着该第一方向排列。图案化硬掩模设置在部分该多条导线上，其中于该顶视图中，该图案化硬掩模沿着该第二方向延伸跨过该多条导线，并且不重叠该多个气隙。至少一插塞结构设置在该图案化硬掩模与该多条导线的重叠区域上，其中该插塞结构穿过该图案化硬掩模以电连接至该多条导线的其中一者。
本发明授权内连线结构、内连线布局结构及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种内连线结构，其特征在于，包括:基底，该基底上设置有一绝缘材料；多条导线，设置在该基底上并且被该绝缘材料覆盖，其中在一顶视图中，该多条导线沿着第一方向纵长地延伸并沿着第二方向平行排列，该第一方向与该第二方向互相垂直；多个气隙，设置在该多条导线之间的该绝缘材料中，并且以端点对端点的方式沿着该第一方向排列；图案化硬掩模，设置在部分该多条导线上，其中在该顶视图中，该图案化硬掩模沿着该第二方向延伸跨过该多条导线，并且不重叠该多个气隙；以及至少一插塞结构，设置在该图案化硬掩模与该多条导线的重叠区域上，其中该插塞结构穿过该图案化硬掩模以电连接至该多条导线的其中一者，其中该绝缘材料包含第一绝缘层设于该多条导线每一条的两侧，第二绝缘层设于该第一绝缘层、该图案化硬掩模和该多条导线每一条上，以及第三绝缘层设于该第二绝缘层上且覆盖该多个气隙，其中相邻于该导线的相同侧的该多个气隙之间的该第一绝缘层的部分被该图案化硬掩模完全覆盖。
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