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龙图腾网恭喜河南理工大学申请的专利一种新型VO₂基热致变色复合薄膜制备方法及应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114394766B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210081314.3，技术领域涉及：C03C17/245；该发明授权一种新型VO₂基热致变色复合薄膜制备方法及应用是由宗海涛;胡强;李明;乔文涛;闫玲玲;蔡红新;卞琳艳设计研发完成，并于2022-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种新型VO₂基热致变色复合薄膜制备方法及应用在说明书摘要公布了：本发明涉及一种新型VO2基热致变色复合薄膜制备方法及应用。所述制备方法包括：1准备衬底材料；2调整所述衬底材料与靶材安装位置之间的距离至预定距离；3将用于制备热致变色功能薄膜层的靶材置于真空腔室内的所述安装位置，所述真空腔室连通有供氧设备4利用脉冲激光器对靶材进行照射，生长底层薄膜层；5停止生长，静置预定时间；6重复步骤4‑5分别生长中间薄膜层和顶部薄膜层。本发明还在各层薄膜之间添加了金属粒子层。本发明还通过工艺地改进，成功将Mo纳米粒子应用到热致变色薄膜体系中，提升了样品性能，大幅度降低了热致变色功能膜的成本，使得热致变色功能膜的规模化生产更近了一步。

本发明授权一种新型VO₂基热致变色复合薄膜制备方法及应用在权利要求书中公布了：1.一种新型VO2基热致变色复合薄膜制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：（1）准备洁净的衬底材料；（2）将目标衬底材料置于真空腔室内，调整所述衬底材料与靶材之间的距离至预定距离；（3）将用于制备热致变色功能薄膜层的靶材置于真空腔室内的安装位置，所述真空腔室连通有供氧设备，用于向所述真空腔室内供应纯氧；（4）利用脉冲激光器对靶材进行照射，生长底层薄膜层；（5）沉积完成后原位退火5-10分钟，之后降温10-20分钟；在所述步骤（5）之后、生长中间薄膜层之前，还包括：将靶材更换为金属Mo靶，采用同一束激光对靶材进行照射，激光照射角度与步骤（4）相同，将氧气压力调节为0，采用脉冲激光沉积法生长第一金属纳米粒子层，所采用激光波长为248nm，能量密度为2-15Jcm2，脉冲宽度25ns，脉冲数为150-200个；（6）重复步骤（4）-（5）分别生长中间薄膜层和顶部薄膜层，所述方法还包括，在生长中间薄膜层之后，预定时间间隔内，将靶材更换为金属Mo靶，采用同一束激光对靶材进行照射，激光照射角度与步骤（4）相同，将氧气压力调节为0，采用脉冲激光沉积法生长第二金属纳米粒子层，所采用激光波长为248nm，能量密度为2-15Jcm2，脉冲宽度25ns，脉冲数为150-200个，所述底层薄膜层、中间薄膜层和顶部薄膜层均为VO2薄膜，每层VO2薄膜的厚度为5~25nm，所述第一和第二金属纳米粒子层为间隔分布的Mo纳米粒子团簇或集群。

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