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恭喜北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)李星辰获国家专利权

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龙图腾网恭喜北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利一种潜望式集成光路的装调方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114545645B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210186417.6,技术领域涉及:G02B27/62;该发明授权一种潜望式集成光路的装调方法是由李星辰;武震;郭春华;王东海设计研发完成,并于2022-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种潜望式集成光路的装调方法在说明书摘要公布了:本申请提供了一种潜望式集成光路的装调方法,通过对中心偏差测量仪的载物台进行校准,以将中心偏差测量仪对应的第一光轴的方向调整至第一预设方向;放置标准反射镜在中心偏差测量仪的预设位置上,通过校准后的中心偏差测量仪调整标准反射镜,以使标准反射镜将第一预设方向的入射光线反射至与第一预设方向垂直的第二预设方向;放置平面反射镜在标准反射镜的一侧,调整平面反射镜,以使平面反射镜将标准反射镜沿第二预设方向反射出的光线,沿第一预设方向反射至中心偏差测量仪的载物台上,以实现对潜望式集成光路中所有光学器件的安装角度的装调。

本发明授权一种潜望式集成光路的装调方法在权利要求书中公布了:1.一种潜望式集成光路的装调方法,其特征在于,所述装调方法包括:对中心偏差测量仪的载物台进行校准,以将所述中心偏差测量仪对应的第一光轴的方向调整至第一预设方向;放置标准反射镜在中心偏差测量仪的预设位置上,通过校准后的中心偏差测量仪调整所述标准反射镜,以使所述标准反射镜将所述第一预设方向的入射光线反射至与第一预设方向垂直的第二预设方向;放置平面反射镜在所述标准反射镜的一侧,调整所述平面反射镜,以使所述平面反射镜将所述标准反射镜沿所述第二预设方向反射出的光线,沿所述第一预设方向反射至所述中心偏差测量仪的载物台上;在所述标准反射镜和所述平面反射镜之间放置物镜,调整所述物镜,以使所述物镜将所述第二预设方向的光线沿原方向透射出去;放置潜望式镜头在所述物镜的一侧,所述潜望式镜头包括输入镜片和输出镜片,所述输入镜片将所述物镜透射的第二预设方向的入射光线,沿第一预设方向的相反方向反射至输出镜片上;对内调焦自准直仪进行校准,以将所述内调焦自准直仪对应的第二光轴的方向调整至所述第二预设方向的相反方向;依次在所述内调焦自准直仪和所述潜望式镜头之间放置第一分束棱镜和第二分束棱镜,所述第一分束棱镜和所述第二分束棱镜的分束方向相反,调整所述第一分束棱镜,以使所述第一分束棱镜将所述内调焦自准直仪沿所述第二光轴的方向发出的光线,反射至第一预设方向,以及调整所述第二分束棱镜,以将所述潜望式镜头反射出的沿所述第二预设方向的光线,反射至第一预设方向;在所述第一分束棱镜和所述第二分束棱镜之间放置管镜,调整所述管镜,以使所述管镜的光轴的方向与第二预设方向同向;在所述第一分束棱镜的一侧放置放大镜头,调整所述放大镜头,以使所述放大镜头将所述第一分束棱镜反射出的第一预设方向的光线沿原方向透射出去;将所述第一分束棱镜替换为与所述第二分束棱镜分束方向相同的第三分束棱镜。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所),其通讯地址为:100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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