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龙图腾网恭喜上海科技大学申请的专利一种基于压电薄膜的双轴微反射镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114815222B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210179579.7，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权一种基于压电薄膜的双轴微反射镜是由吴涛;刘康福;陆瑶卿设计研发完成，并于2022-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于压电薄膜的双轴微反射镜在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于压电薄膜的双轴微反射镜。本发明利用类似铌酸锂钽酸锂的压电薄膜特定切向的e16压电应力常数，在这类压电薄膜的特定的切向上，在两个面内方向上拥有较高的e16，可被用于直接驱动两个垂直方向的振荡轴的偏转，从而实现在两个扭转轴上较大的偏转角。与常规的压电微镜通过信号相位的改变间接通过结构实现双轴偏转的设计不同，本发明可在振荡轴上直接产生应力作用于振荡轴使其偏转。并且由于所利用的两个本征模式是相互解耦的，因此可同时实现两个扭转轴方向上各自独立的高角度的偏转。

本发明授权一种基于压电薄膜的双轴微反射镜在权利要求书中公布了：1.一种基于压电薄膜的双轴微反射镜，为由金属层、压电薄膜层以及应变层组成的三层结构，包括第一扭转振荡器以及第二扭转振荡器，第一扭转振荡器包含一对扭转振荡轴和振荡体，分别定义为第一振荡轴和第一振荡体，第二扭转振荡器包含一对扭转振荡轴和一个框架，分别定义为第二振荡轴和转动框架；第一振荡体通过第一振荡轴以双轴可运动的方式连接到转动框架上，转动框架则通过第二振荡轴以双轴可运动的方式连接至支承装置；由金属层形成的反射镜面位于第一振荡体的表面；由金属层形成的驱动装置覆盖在第一振荡轴、第二振荡轴和转动框架的上，为用于驱动双轴微反射镜产生谐振的电极；在驱动装置上施加电压，当电压频率达到或者接近振荡体的某一本征模式时，振荡体绕着第一振荡轴和或第二振荡轴旋转做简谐运动，其特征在于：压电薄膜层采用三方晶系材料压电薄膜层，三方晶系材料压电薄膜层在两个面内方向上拥有较高的压电应力常数e16，应力直接作用于第一振荡轴及第二振荡轴上，直接驱动两个垂直方向的第一振荡轴和第二振荡轴的偏转，实现在两个方向上的偏转角，所述压电应力常数e16在三方晶系材料中是各项异性的。

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