恭喜天津视骏科技有限公司高杨获国家专利权
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龙图腾网恭喜天津视骏科技有限公司申请的专利一种用于晶体刻蚀的激光调频定位处理方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116604195B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310891981.2,技术领域涉及:B23K26/362;该发明授权一种用于晶体刻蚀的激光调频定位处理方法是由高杨;李向前;刘金波;付廷喜;付玉磊设计研发完成,并于2023-07-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶体刻蚀的激光调频定位处理方法在说明书摘要公布了:本发明涉及压电晶体领域,尤其涉及一种用于晶体刻蚀的激光调频定位处理方法,包括:S1、利用待刻蚀晶体的实时频率数据得到初始晶体刻蚀面积;S2、利用所述初始晶体刻蚀面积进行调段处理得到实时刻蚀面积;S3、根据所述实时刻蚀面积完成激光调频定位处理,分析得到当前频率调整激光需要刻蚀的面积,控制激光去刻蚀产品的振动表面以此来调整晶体的振动频率。通过这种方式可以准确的调整产品的振动频率。在做运动控制时若其空间内的X轴和Y轴安装不垂直就会出现定位偏差,根据坐标内X轴和Y轴的垂直角度偏差,在定位时利用算法进行补偿,修正定位偏差提升定位精度。
本发明授权一种用于晶体刻蚀的激光调频定位处理方法在权利要求书中公布了:1.一种用于晶体刻蚀的激光调频定位处理方法,其特征在于,包括:S1、利用待刻蚀晶体的实时频率数据得到初始晶体刻蚀面积;S1-1、获取待刻蚀晶体的实时频率数据;S1-2、获取待刻蚀晶体的调频参数;S1-3、利用所述待刻蚀晶体的实时频率数据、待刻蚀晶体的调频参数与待刻蚀晶体的目标频率数据计算基础晶体刻蚀面积;S1-4、判断所述基础晶体刻蚀面积对应实时频率数据与待刻蚀晶体的目标频率数据是否一致,若是,则利用所述基础晶体刻蚀面积作为初始晶体刻蚀面积,否则,利用待刻蚀晶体的实时频率数据与待刻蚀晶体的目标频率数据对待刻蚀晶体的调频参数进行分析更新得到待刻蚀晶体的当前时刻调频参数后,返回S1-3;其中,待刻蚀晶体的目标频率数据为待刻蚀晶体对应的实际计划频率;S2、利用所述初始晶体刻蚀面积进行调段处理得到实时刻蚀面积;S2-1、判断所述初始晶体刻蚀面积对应频率数据是否小于粗调段频率数据,若是,则利用粗调段频率对应调频参数进行粗调段处理得到实时刻蚀面积,否则,执行S2-2;S2-2、判断所述初始晶体刻蚀面积对应频率数据是否大于粗调段频率数据且小于目标频率数据,若是,则利用微调段频率对应频率参数进行微调段处理得到实时刻蚀面积,否则,返回S1-1;S3、根据所述实时刻蚀面积完成激光调频定位处理;判断所述实时刻蚀面积是否存在角度偏差,若是,则进行补偿处理后,完成激光调频定位处理,否则,直接完成激光调频定位处理。
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