恭喜三星电子株式会社金彩姈获国家专利权
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龙图腾网恭喜三星电子株式会社申请的专利清洁装置、清洁方法以及制造半导体器件的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN107301946B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201710243397.0，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权清洁装置、清洁方法以及制造半导体器件的方法是由金彩姈;金兑洪;吴政玟;金荣俊;金仁基;尹普彦;李晓山;韩率设计研发完成，并于2017-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洁装置、清洁方法以及制造半导体器件的方法在说明书摘要公布了：提供一种用于从基板去除粒子的清洁装置。该清洁装置包括：第一清洁单元，包括将第一化学液体和第一喷雾供应到基板的第一双喷嘴，第一喷雾包括溶解第一化学液体的第一液体；以及第二清洁单元，包括将不同于第一化学液体的第二化学液体和第二喷雾供应到基板的第二双喷嘴，第二喷雾包括溶解第二化学液体并且与第一液体相同的第二液体。
本发明授权清洁装置、清洁方法以及制造半导体器件的方法在权利要求书中公布了：1.一种清洁方法，包括：通过第一双喷嘴将第一化学液体和第一喷雾供应到基板，所述第一喷雾包括溶解所述第一化学液体的第一液体，所述第一化学液体包括氢氟酸；在第一方向上移动所述第一双喷嘴；使用第二液体刷洗所述基板，所述第二液体包括氨水；以及通过第二双喷嘴将第二化学液体和第二喷雾供应到所述基板，所述第二喷雾包括溶解所述第二化学液体的第三液体，所述第二化学液体包括氨水，其中将所述第一化学液体和所述第一喷雾供应到所述基板的所述第一双喷嘴在所述第一方向上移动同时所述第一喷雾在所述第一方向上在所述第一化学液体前面行进，其中所述第一双喷嘴包括第一喷嘴和第二喷嘴，其中所述第一喷嘴供应所述第一喷雾，所述第二喷嘴供应所述第一化学液体，以及其中所述第一双喷嘴在所述第一方向上移动同时所述第一喷嘴在所述第一方向上在所述第二喷嘴前面行进，其中所述第二化学液体利用静电排斥力防止粒子粘附于所述基板。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人三星电子株式会社，其通讯地址为：韩国京畿道；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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