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安华高科技股份有限公司S·叶尔丹迪获国家专利权

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龙图腾网获悉安华高科技股份有限公司申请的专利III-V衬底上的高介电常数电容器结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN109148422B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201810505623.2,技术领域涉及:H01L23/64;该发明授权III-V衬底上的高介电常数电容器结构是由S·叶尔丹迪;P·尼克尔;T·邓甘;J·阿布罗克华设计研发完成,并于2018-05-24向国家知识产权局提交的专利申请。

III-V衬底上的高介电常数电容器结构在说明书摘要公布了:本公开涉及一种III‑V衬底上的高介电常数电容器结构。一种半导体结构包含III‑V半导体结构;第一电极;安置于所述第一电极上方的第一阻挡层;安置于所述第一电极上方的第一粘附层;安置于所述第一粘附层上方的第一钝化层;安置于所述第一钝化层上方的介电层;安置于所述介电层上方的第二钝化层;安置于所述第二钝化层上方的第二粘附层;安置于所述第二粘附层上方的第二阻挡层;以及安置于所述第二阻挡层上方的第二电极。

本发明授权III-V衬底上的高介电常数电容器结构在权利要求书中公布了:1.一种电容器,其包括:第一电极;第一铂钝化层,其安置于所述第一电极上方;第一粘附层,其安置于所述第一铂钝化层上方;第一阻挡层,其安置于所述第一粘附层上方;介电层,其包括非晶形五氧化二钽Ta2O5或非晶形二氧化铪HfO2且安置于所述第一阻挡层上方;第二阻挡层,其安置于所述介电层上方;第二粘附层,其安置于所述第二阻挡层上方;第二铂钝化层,其安置于所述第二粘附层上方;以及第二电极,其安置于所述第二铂钝化层上方。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安华高科技股份有限公司,其通讯地址为:新加坡新加坡市;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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