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龙图腾网获悉信越石英株式会社;株式会社国际电气申请的专利反应管的清洗方法、半导体器件的制造方法及衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113145578B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110084725.3，技术领域涉及：B08B9/032；该发明授权反应管的清洗方法、半导体器件的制造方法及衬底处理装置是由森田慎也;中田彻;木村博至;濑川彻设计研发完成，并于2021-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本反应管的清洗方法、半导体器件的制造方法及衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及反应管的清洗方法、半导体器件的制造方法及衬底处理装置。用含氟化合物的药液清洗也能抑制氟化合物残留在反应管内周面。该技术具有：将具有对反应管进行退火第1退火工序、用含第1浓度的氟化合物的液体对第1退火工序后的反应管的内周面进行清洗的第1清洗工序及用纯水冲洗第1清洗工序中使用的氟化合物进行的第1漂洗工序且将第1漂洗工序进行1次以上的循环作为1个循环并将其进行1次或多次；对反应管进行退火的第2退火工序；用含比第1浓度高的第2浓度的氟化合物的液体对第2退火工序后的反应管的内周面进行清洗的第2清洗工序；用纯水冲洗第2清洗工序中使用的氟化合物的第2漂洗工序，第2漂洗工序进行2次以上。

本发明授权反应管的清洗方法、半导体器件的制造方法及衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.石英反应管的清洗方法，其具有下述工序：将具有第1退火工序、第1清洗工序及第1漂洗工序且将所述第1漂洗工序进行1次以上的循环作为1个循环，将所述1个循环进行1次或多次的工序，其中，所述第1退火工序为对石英反应管进行退火的工序，所述第1清洗工序为使用包含第1浓度的氟化合物的液体对所述第1退火工序后的所述石英反应管的内周面进行清洗的工序，所述第1漂洗工序为用纯水冲洗在所述第1清洗工序中使用的所述氟化合物的工序；对所述石英反应管进行退火的第2退火工序；使用包含比所述第1浓度高的第2浓度的氟化合物的液体对第2退火工序后的所述石英反应管的内周面进行清洗的第2清洗工序；和使用纯水冲洗在所述第2清洗工序中使用的所述氟化合物的第2漂洗工序，所述清洗方法中，将所述第2漂洗工序进行2次以上，所述第1漂洗工序及所述第2漂洗工序分别包含：使所述石英反应管浸渍在所述纯水中将所述石英反应管润湿的润湿工序；一边将所述石英反应管浸渍在所述纯水中一边使所述石英反应管摇动的摇动工序；和一边将所述石英反应管浸渍在所述纯水中一边使所述石英反应管沿该石英反应管的周向旋转的旋转工序，所述氟化合物的第1浓度是2质量％～6质量％，所述氟化合物的第2浓度是10质量％～50质量％。

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