浙江大学刘伟庭获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种液力平滑的微压平膜压力传感阵列及制备工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115060410B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210650397.3，技术领域涉及：G01L9/06；该发明授权一种液力平滑的微压平膜压力传感阵列及制备工艺是由刘伟庭;李佳潞;胡亮;付新设计研发完成，并于2022-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种液力平滑的微压平膜压力传感阵列及制备工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种测量超薄液膜壁面压力的平膜式压力传感器及制备工艺。传感阵列嵌入在被测壁面内，传感阵列包括多个传感单元，每个传感单元中，被测壁面内部开设有阶梯状油腔，在被测壁面背面开设充油孔，充油孔和阶梯状油腔侧旁连通；PVDF膜安装孔位处固定嵌装PVDF膜片与被测壁面齐平，压力传感芯片安装孔位处固定布置MEMS压力传感芯片；在真空条件下，在粘贴了MEMS压力芯片和PVDF膜片后进行真空注液工艺。本发明结构对原流场的干扰最小化，规避引压孔结构引起的测量误差，实现5mm的空间阵列排布，提升传感器的动态响应性能，结构紧凑，能在1kPa的量程内达到千分之二的测量精度。
本发明授权一种液力平滑的微压平膜压力传感阵列及制备工艺在权利要求书中公布了：1.一种液力平滑的微压平膜压力传感阵列，其特征是：传感阵列嵌入在被测壁面1内，传感阵列包括阵列布置的多个感压膜，每个感压膜嵌入被测壁面1内安装，且感压膜与被测壁面1齐平；所述的传感阵列具体包括多个阵列布置的传感单元，每个传感单元包括了MEMS压力传感芯片2、PVDF膜片3以及开设在被测壁面1内部的孔、腔，在被测壁面1正面开设PVDF膜安装孔位14，在被测壁面1背面开设压力传感芯片安装孔位9，PVDF膜安装孔位14和压力传感芯片安装孔位9之间的被测壁面1内部开设有阶梯状油腔13，阶梯状油腔13直接和PVDF膜安装孔位14连通，PVDF膜安装孔位14经被测壁面1内部开设的阶梯状油腔小孔10和压力传感芯片安装孔位9连通；在被测壁面1背面开设充油孔12，充油孔12和阶梯状油腔13侧旁连通；PVDF膜安装孔位14处固定嵌装PVDF膜片3作为感压膜，压力传感芯片安装孔位9处固定布置MEMS压力传感芯片2。
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