龙图腾网恭喜安徽国芯智能装备有限公司申请的专利一种光刻机晶圆放置板更换机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN220752519U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-04-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202322532197.0，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻机晶圆放置板更换机构是由薛业保;章广飞;王运钢;李文静设计研发完成，并于2023-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻机晶圆放置板更换机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光刻机晶圆放置板更换机构，涉及晶圆载台配件领域，包括有呈空心结构的载台，所述载台的顶部开设有凹槽，凹槽内部搭接有可升降的放置板，所述放置板的底端向下延伸形成一对对位块，所述对位块的外侧均拆卸式连接有限位座，对称分布的一对所述限位座的底部连接有同一联动板。本实用新型可控制载台内部的伺服电机运转，驱动第二导向座的突起部分转动挤压第一导向座的突起部分，第一导向座、联动板同步上升，直至限位座、对位块向上露出载台。即可在限位座上实施对位块的拆卸操作，以达到拆卸、更换放置板的目的，能够及时、快速地对放置板实施更换操作，具有便携操作的优点。

本实用新型一种光刻机晶圆放置板更换机构在权利要求书中公布了：1.一种光刻机晶圆放置板更换机构，包括有呈空心结构的载台1，其特征在于：所述载台1的顶部开设有凹槽，凹槽内部搭接有可升降的放置板2，所述放置板2的底端向下延伸形成一对对位块21，所述对位块21的外侧均拆卸式连接有限位座3，对称分布的一对所述限位座3的底部连接有同一联动板4；所述联动板4的中心处贯穿设置有可转动的导向轴5，且联动板4的底部固定连接有环绕于导向轴5外侧的第一导向座6，所述导向轴5的外表面且靠下方固定连接有第二导向座7，当所述放置板2搭接于凹槽内部时，所述第一导向座6、第二导向座7的突起部分错开分布，所述导向轴5的底部安装有与其相适配的伺服电机8，当所述第一导向座6、联动板4同步上升后，所述限位座3、对位块21向上露出载台1。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人安徽国芯智能装备有限公司，其通讯地址为：230051 安徽省合肥市包河经济开发区重庆路与兰州路交叉口中关村协同创新智汇园D3栋1楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。