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恭喜光驰科技(上海)有限公司"镀膜室及镀膜设备"专利获国家实用新型专利权

龙图腾网恭喜光驰科技(上海)有限公司申请的专利镀膜室及镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN220827453U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-04-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202322656495.0,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型镀膜室及镀膜设备是由裴蓓;吕启蒙;余龙;曹永军设计研发完成,并于2023-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。

镀膜室及镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型属于真空镀膜技术领域,公开了镀膜室及镀膜设备。该镀膜室包括镀膜腔、第一驱动件、第二驱动件和镀膜源;第一驱动件与第一旋转盘传动连接,第一旋转盘设于镀膜腔内,第一驱动件能使第一旋转盘自转;第二驱动件与多个第二旋转盘传动连接,第二驱动件能使第二旋转盘自转,多个第二旋转盘设于第一旋转盘上,第二旋转盘用以放置基板;两组镀膜源设于镀膜腔内并分居于第二旋转盘的上下两侧;遮挡件设于两个镀膜源之间,在镀膜作业时,遮挡件用于阻挡两侧的镀膜源产生的镀膜粒子穿过。通过本实用新型,能够实现双面镀膜的同时,兼顾镀膜设备的适应性和镀膜质量提升。

本实用新型镀膜室及镀膜设备在权利要求书中公布了:1.镀膜室,包括镀膜腔100,其特征在于,包括:第一驱动件10,与第一旋转盘11传动连接,所述第一旋转盘11设于所述镀膜腔100内,所述第一驱动件10能使所述第一旋转盘11自转;第二驱动件20,与多个第二旋转盘21传动连接,所述第二驱动件20能使所述第二旋转盘21自转,多个所述第二旋转盘21设于所述第一旋转盘11,所述第二旋转盘21用以放置基板400;两组镀膜源30,设于所述镀膜腔100并分居于所述第二旋转盘21所在平面的两侧;遮挡件50,设于两个所述镀膜源30之间,在镀膜作业时,所述遮挡件50用于阻挡两侧的所述镀膜源30产生的镀膜粒子穿过。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人光驰科技(上海)有限公司,其通讯地址为:200436 上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267,297号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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