恭喜拉普拉斯(西安)科技有限责任公司"支撑装置及镀膜设备"专利获国家实用新型专利权
龙图腾网恭喜拉普拉斯(西安)科技有限责任公司申请的专利支撑装置及镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN220827452U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-04-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202322649835.7,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型支撑装置及镀膜设备是由祁文杰;张武;刘群设计研发完成,并于2023-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本支撑装置及镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型属于硅片加工技术领域,公开了支撑装置及镀膜设备。该支撑装置包括第一安装件、第二安装件和支撑件,第二安装件设置于第一安装件上方,支撑件转动设置于第二安装件远离第一安装件的一端,用于支撑载板。在载板移动的过程中,支撑件能够对载板提供支撑,避免载板出现弯曲变形,进而确保载板上硅片的安全,有效避免硅片出现碎片,进而提升硅片的成品率。
本实用新型支撑装置及镀膜设备在权利要求书中公布了:1.支撑装置,用于支撑载板2,其特征在于,所述支撑装置1包括:第一安装件10,包括相对设置的第一表面11和第二表面12,所述第一表面11面向所述载板2;第二安装件20,设于所述第一表面11;支撑件30,可转动安装在所述第二安装件20远离所述第一安装件10的一端,所述支撑件30用于支撑所述载板2。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人拉普拉斯(西安)科技有限责任公司,其通讯地址为:712000 陕西省西安市西咸新区泾河新城崇文镇泾河三街76号光电子学研究与创新中心3号楼3-4层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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