无锡微慢哪技术有限公司文明岩获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡微慢哪技术有限公司申请的专利垂直扩散炉内晶圆均匀加热机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221344774U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323454827.3，技术领域涉及：C30B31/12；该实用新型垂直扩散炉内晶圆均匀加热机构是由文明岩设计研发完成，并于2023-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本垂直扩散炉内晶圆均匀加热机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及垂直扩散炉内晶圆均匀加热机构,包括设置在扩散炉本体炉内的均热组件，所述均热组件包括陶瓷罩和螺旋管。该垂直扩散炉内晶圆均匀加热机构，在垂直扩散炉的基础上设置均热组件，在晶圆放入炉内进行加热时，将惰性气体通过进气管导入螺旋管中，使惰性气体快速充满螺旋管管内，同时若干个耐热波纹管作为支路将惰性气体引出并通过喷头喷出到炉内，且耐热波纹管可弯折调节喷嘴的气体喷出角度，进而让惰性气体被通过设计良好的气体喷嘴引入炉腔形成气体对流，气体对流可以在炉内产生对流循环，促使热量更快地传递到晶圆表面和更好地实现热量在整个炉腔内的均匀分布，这有助于避免出现局部温度梯度，提高均热效率。
本实用新型垂直扩散炉内晶圆均匀加热机构在权利要求书中公布了：1.垂直扩散炉内晶圆均匀加热机构，其特征在于：包括设置在扩散炉本体（1）炉内的均热组件（2）；所述均热组件（2）包括陶瓷罩（201）和螺旋管（202），所述螺旋管（202）装配在陶瓷罩（201）内，用以通过螺旋管（202）导出气体进行对流实现均匀加热；所述均热组件（2）还包括与螺旋管（202）连通的若干个可弯折的耐热波纹管（203），用以调节气体在炉内的喷射角度，若干个所述耐热波纹管（203）远离螺旋管（202）的一端均连通有喷头（204），用以在扩散炉内喷出气体实现气体对流。
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