杭州光研科技有限公司陈海龙获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州光研科技有限公司申请的专利一种晶圆轮廓检测仪获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221350029U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323009573.4，技术领域涉及：G01B11/24；该实用新型一种晶圆轮廓检测仪是由陈海龙设计研发完成，并于2023-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆轮廓检测仪在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆轮廓检测仪，包括工作台，所述工作台的上表面从前到后依次设置有上下料工位、图像采集检测工位及打点标记工位，所述上下料工位包括可移动至图像采集检测工位及打点标记工位下方的活动座，所述活动座的上表面设置有载物台，所述图像采集检测工位包括与工作台上表面固定连接的环形板。该一种晶圆轮廓检测仪，通过驱动机构的设置，实现对载物台移动至各个工位下方，提高了灵活性，且采用环形板的环形光源，保证晶圆中所有晶粒受光均匀，且通过遮光罩的设置，可以降低外界光照对检测的影响，大大提高检测精确度。
本实用新型一种晶圆轮廓检测仪在权利要求书中公布了：1.一种晶圆轮廓检测仪，其特征在于：包括工作台1，所述工作台1的上表面从前到后依次设置有上下料工位、图像采集检测工位及打点标记工位；其中，所述上下料工位包括可移动至图像采集检测工位及打点标记工位下方的活动座2，所述活动座2的上表面设置有载物台3；所述图像采集检测工位包括与工作台1上表面固定连接的环形板11，所述环形板11的底部设置有多个呈圆周阵列分布的LED灯19，所述环形板11的中心部位上方设置有相机9，所述相机9通过固定杆10与工作台1的上表面固定连接，且所述图像采集检测工位的外侧设置有遮光罩4；所述打点标记工位包括L型板5，所述L型板5的侧壁设置有可上下移动的活动板7，所述活动板7的上表面一侧设置有机械臂22，所述机械臂22的端部设置有标记笔23。
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