东莞市优唯智能设备有限公司杨毅获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市优唯智能设备有限公司申请的专利一种防止晶片破碎的过渡槽装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221352781U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323018627.3,技术领域涉及:H01L31/18;该实用新型一种防止晶片破碎的过渡槽装置是由杨毅;林琼辉;李冠章设计研发完成,并于2023-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防止晶片破碎的过渡槽装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种防止晶片破碎的过渡槽装置,包括至少一过渡进槽,所述过渡进槽包括架设于地面上的一进槽支架、设置于所述进槽支架中部的一进槽闸门、滑动于所述进槽支架侧边上的至少一进槽传送机构、设置于所述进槽支架上且位于进槽闸门一端的一进入备用槽、以及设置于进槽支架下端的一进槽回水管路;所述进入备用槽远离进槽闸门的一端设置有一进入备用闸门。本实用新型提供的一种防止晶片破碎的过渡槽装置,通过设置多层闸门进行电镀水位调整,从而使多晶硅片在运输过程至不同的加工机械中均为平稳的水位,不存在液面差,不会受到不同水位药水的冲击,从而防止多晶硅片破碎,提高成品率和生产效率。
本实用新型一种防止晶片破碎的过渡槽装置在权利要求书中公布了:1.一种防止晶片破碎的过渡槽装置,其特征在于:包括至少一过渡进槽,所述过渡进槽包括架设于地面上的一进槽支架、设置于所述进槽支架中部的一进槽闸门、滑动于所述进槽支架侧边上的至少一进槽传送机构、设置于所述进槽支架上且位于进槽闸门一端的一进入备用槽、以及设置于进槽支架下端的一进槽回水管路;所述进入备用槽远离进槽闸门的一端设置有一进入备用闸门。
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