广东工业大学;余胜涛余胜涛获国家专利权
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龙图腾网获悉广东工业大学;余胜涛申请的专利一种IC载板清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221335630U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323087992.X，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种IC载板清洗装置是由余胜涛;杨冠南;张昱;崔成强设计研发完成，并于2023-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种IC载板清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种IC载板清洗装置，属于半导体基板加工制造技术领域，包括清洗腔体，所述清洗腔体的两侧面对称设置有喷淋组件，所述清洗腔体内侧两端对称设置有清洗组件，所述清洗腔体外一侧设置有干燥组件，所述清洗腔体和干燥组件上方设置有悬挂系统，所述干燥组件包括干燥腔室，所述干燥腔室内对称设置有通风网和轴流风机，所述悬挂系统包括弧形导轨和支撑脚，所述弧形导轨上活动设置有多个悬挂组件；通过设置清洗腔体和干燥组件，设备的清洗和干燥分隔成两个相连的区域，并通过悬挂系统使多个IC载板分别在清洗腔体和干燥腔室内同时进行清洗和干燥，有效地提升了IC载板的清洗效率。
本实用新型一种IC载板清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种IC载板清洗装置，包括清洗腔体1，其特征在于：所述清洗腔体1的两侧面对称设置有喷淋组件2，所述清洗腔体1内侧两端对称设置有清洗组件3，所述清洗腔体1外一侧设置有干燥组件4，所述清洗腔体1和干燥组件4上方设置有悬挂系统5，所述干燥组件4包括干燥腔室41，所述干燥腔室41内对称设置有通风网42和轴流风机43，所述悬挂系统5包括弧形导轨52和支撑脚51，所述弧形导轨52上活动设置有多个悬挂组件6；所述清洗组件3包括滚动毛刷31，所述滚动毛刷31轴心处贯通有支撑转轴34，所述清洗腔体1的内侧设置有支撑板33，所述清洗腔体1的外侧设置有电机32，所述支撑转轴34的一端伸出清洗腔体1外连接在电机32的输出轴上，所述支撑转轴34的另一端转动连接在支撑板33上。
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