纽威仕微电子(无锡)有限公司孙跃获国家专利权
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龙图腾网获悉纽威仕微电子(无锡)有限公司申请的专利MEMS水听器芯片的扇出型封装结构及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN107758604B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201711069969.4,技术领域涉及:B81B7/02;该发明授权MEMS水听器芯片的扇出型封装结构及方法是由孙跃;林挺宇;徐庆泉;林海斌;赵晓宏设计研发完成,并于2017-11-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS水听器芯片的扇出型封装结构及方法在说明书摘要公布了:本发明提供MEMS水听器芯片的扇出型封装结构,以解决现有技术中MEMS水听器芯片封装工艺封装尺寸过大,可靠性不够好以及工艺复杂,成本高的问题,包括:RDL布线层,MEMS水听器芯片,所述MEMS水听器芯片倒装在所述RDL布线层的上表面上;功能芯片、无源器件以及有源器件,所述功能芯片、所述无源器件以及所述有源器件分别倒装在所述RDL布线层的上表面上;封装层,所述封装层布置在所述RDL布线层的上表面上,且将所述MEMS水听器芯片、所述功能芯片、所述无源器件以及所述有源器件包围在所述封装层中,此外本发明还提供了MEMS水听器芯片的扇出型封装方法。
本发明授权MEMS水听器芯片的扇出型封装结构及方法在权利要求书中公布了:1.MEMS水听器芯片的封装结构,其特征在于,其包括:RDL布线层,所述RDL布线层包括上表面和与所述上表面相对的下表面;MEMS水听器芯片,所述MEMS水听器芯片倒装在所述RDL布线层的上表面上;功能芯片、无源器件以及有源器件,所述功能芯片、所述无源器件以及所述有源器件分别倒装在所述RDL布线层的上表面上;封装层,所述封装层布置在所述RDL布线层的上表面上,且将所述MEMS水听器芯片、所述功能芯片、所述无源器件以及所述有源器件包围在所述封装层中;所述RDL布线层包括第一RDL布线层和堆叠在所述第一RDL布线层之上第二RDL布线层,所述第一RDL布线层的上表面上设有铜柱,所述封装层的顶面与所述铜柱的顶面持平,所述第一RDL布线层和所述第二RDL布线层之间通过铜柱、焊锡连接,所述MEMS水听器芯片贴装在所述第二RDL布线层,所述功能芯片、所述无源器件以及所述有源器件分别倒装在所述第一RDL布线层上;所述第二RDL布线层的下表面下设置有焊球下金属和焊球;所述RDL布线层包括金属线路和设置在所述金属线路之间的绝缘介质层,所述MEMS水听器芯片、所述功能芯片、所述无源器件以及所述有源器件的引脚分别连接所述金属线路,所述铜柱、所述焊球下金属和所述焊球分别连接所述金属线路;所述无源器件包括电阻、电容、电感、滤波器、天线,所述功能芯片包括DSP芯片,所述有源器件包括升压电路,降压电路,驱动电路。
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