住友化学株式会社杉原昌子获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉住友化学株式会社申请的专利抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111381439B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911360456.8，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案的制造方法是由杉原昌子;肥后睦子设计研发完成，并于2019-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种经时变化小、可以制造图案形状良好的抗蚀剂图案的抗蚀剂组合物。本发明的抗蚀剂组合物包含羟基由以式3表示的基团取代了的线型酚醛树脂、产酸剂、猝灭剂和溶剂，式3中，Ra10表示碳原子数1～20的烃基例如烷基、烯基及炔基等链式烃基、脂环式烃基、芳香族烃基以及通过将它们组合而形成的基团等，*表示键合端。
本发明授权抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种抗蚀剂组合物，其包含羟基由以式3表示的基团取代了的线型酚醛树脂、碱可溶性树脂、产酸剂、猝灭剂和溶剂； 式3中，Ra10表示碳原子数1～20的烃基；*表示键合端。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人住友化学株式会社，其通讯地址为：日本国东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号