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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理方法以及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112017952B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010470263.4，技术领域涉及：H01L21/06；该发明授权基板处理方法以及基板处理装置是由中井仁司;大须贺勤;吉原直彦;金松泰范;奥谷学;天久贤治;林昌之设计研发完成，并于2020-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理方法以及基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供基板处理方法以及基板处理装置。基板处理方法包括：药液处理工序，保持覆盖基板的图案形成面的药液的液膜，并使用药液来处理图案形成面；中间处理工序，使用中间处理液来处理图案形成面；填充剂喷出工序，朝向图案形成面喷出填充剂；填充剂扩大工序，使填充剂朝向基板的外周扩展；固化膜形成工序，在图案形成面形成填充剂的固化膜；下位置配置工序，将遮断部件配置在下位置并维持在下位置；以及遮断部件上升工序，朝向位于比下位置更靠上方的上位置开始遮断部件的上升。药液处理工序包括从中央喷嘴朝向图案形成面喷出药液的工序。填充剂扩大工序包括在遮断部件位于上位置的状态下开始图案形成面上的填充剂的扩大的工序。

本发明授权基板处理方法以及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，其特征在于，包括以下工序：基板保持工序，在使形成有图案的图案形成面朝向上方的状态下，将基板保持于基板保持单元；药液处理工序，在上述图案形成面上保持覆盖上述图案形成面的药液的液膜，使用上述药液的液膜所含的药液来处理上述图案形成面；中间处理工序，在上述药液处理工序之后，在上述图案形成面上保持覆盖上述图案形成面的中间处理液的液膜，并使用上述中间处理液的液膜所含的中间处理液来处理上述图案形成面；填充剂喷出工序，在上述中间处理工序之后，朝向上述图案形成面喷出作为用于填充上述图案间的液体的填充剂；填充剂扩大工序，通过使上述基板绕铅垂的旋转轴线进行旋转，使供给至上述图案形成面的填充剂朝向上述基板的外周扩展；固化膜形成工序，通过使供给至上述图案形成面的填充剂固化，从而在上述图案形成面形成填充剂的固化膜；下位置配置工序，在开始上述药液处理工序之前，将遮断部件配置在将上述图案形成面的上方的空间与该空间的外侧的空间的气氛遮断的下位置，然后，将上述遮断部件维持在上述下位置，上述遮断部件具备圆板部和从上述圆板部的外周部向下方延伸的圆筒部，该圆板部具有相对于上述基板从上方对置的基板对置面；以及遮断部件上升工序，在开始上述填充剂扩大工序之前，在由上述基板保持单元保持的基板的上述图案形成面被上述中间处理液的液膜覆盖的状态下，朝向位于比上述下位置更靠上方的上位置，开始上述遮断部件的上升，上述药液处理工序包括以下工序：从具有与上述图案形成面的中央部对置的中央部喷出口且与上述圆板部结合的中央喷嘴朝向上述图案形成面喷出药液，上述填充剂喷出工序中的上述填充剂的喷出位置是上述基板与位于上述上位置时的上述遮断部件之间，上述填充剂扩大工序包括以下工序：在上述遮断部件位于上述上位置的状态下，开始上述图案形成面上的填充剂的扩大。

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