恭喜株式会社国际电气森田慎也获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜株式会社国际电气申请的专利炉口部结构、基板处理装置以及半导体装置的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115841937B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210870323.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权炉口部结构、基板处理装置以及半导体装置的制造方法是由森田慎也;中岛诚世;阿部贤卓;原田和宏;越保信;野原慎吾设计研发完成，并于2022-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本炉口部结构、基板处理装置以及半导体装置的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种炉口部结构、基板处理装置以及半导体装置的制造方法，能够抑制以构成炉口部的部件为发生源的基板的金属污染。根据本公开的一方式，具备：上侧入口部，其经由第一密封部件与设置于反应管的下部的第一突部连接，并对所述反应管进行支撑；下侧入口部，其经由第二密封部件与该上侧入口部连接；以及固定环，其与该上侧入口部连结，并固定所述第一突部，并且构成为：所述上侧入口部配置在设置于所述反应管的下部的排气管的下方，使冷却介质在设置于所述上侧入口部和所述固定环各自的内部的流路中流通，从而能够对所述第一突部进行冷却。
本发明授权炉口部结构、基板处理装置以及半导体装置的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种炉口部结构，其特征在于，具备：上侧入口部，其经由第一密封部件与设置于反应管的下部的第一突部连接，并对所述反应管进行支撑；下侧入口部，其经由第二密封部件与该上侧入口部连接；固定环，其与该上侧入口部连结，并固定所述第一突部；以及第二突部，其设置于所述反应管的下端，且以不与所述下侧入口部抵接且覆盖所述上侧入口部的内壁的至少一部分的方式向下侧突出，并且构成为：所述上侧入口部配置在设置于所述反应管的下部的排气管的下方，使冷却介质在设置于所述上侧入口部和所述固定环各自的内部的流路中流通，从而能够对所述第一突部进行冷却。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社国际电气，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号