恭喜中国电子科技集团公司第四十四研究所李睿智获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国电子科技集团公司第四十四研究所申请的专利基于双透镜阵列的凝视型多光谱图像传感器及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114156295B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111488185.1,技术领域涉及:H10F39/18;该发明授权基于双透镜阵列的凝视型多光谱图像传感器及其制作方法是由李睿智;张勇;黄建;张晓琴;高建威设计研发完成,并于2021-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于双透镜阵列的凝视型多光谱图像传感器及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种基于双透镜阵列的凝视型多光谱图像传感器及其制作方法,包括:在背照式图像传感器的表面制作多光谱滤光器阵列;在光学玻璃片的下表面制作下微透镜阵列,在背照式图像传感器上旋涂光敏型键合胶,并进行图形化处理形成与下微透镜阵列相对应的图案;将光学玻璃片和背照式图像传感器键合在一起;在光学玻璃片的上表面制作上微透镜阵列;制作金属电极。本发明中,图像传感器的进光方式采用了背照式,具有灵敏度高、膜系可设计性高、工艺可控性高的特点。滤光器基于F‑P标准具原理,结构简单,相对于传统的多光谱成像系统,省去了笨重的色散或干涉分光系统。采用双透镜结构能明显提高图像传感器的填充因子,提高占空比,降低谱段串扰。
本发明授权基于双透镜阵列的凝视型多光谱图像传感器及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种基于双透镜阵列的凝视型多光谱图像传感器制作方法,其特征在于,包括以下步骤:取一背照式图像传感器晶圆;在背照式图像传感器晶圆上,对应每一背照式图像传感器分别制作多光谱滤光器阵列,所述多光谱滤光器阵列包括与背照式图像传感器的像元一一对应的基于F-P标准具原理的多光谱滤光器,每一所述多光谱滤光器分别位于对应像元的光敏区正上方的位置处;取一与背照式图像传感器晶圆尺寸相适配的光学玻璃片;在所述光学玻璃片的下表面制作下微透镜阵列,所述下微透镜阵列包括多个下微透镜,所述下微透镜与多光谱滤光器一一对应,且所述下微透镜的尺寸与所述多光谱滤光器相适配;在背照式图像传感器上旋涂光敏型键合胶;对光敏型键合胶进行图形化处理,形成与下微透镜阵列相对应的图案;使每一下微透镜分别位于对应位置多光谱滤光器的正上方,将光学玻璃片和背照式图像传感器键合在一起,并高温固化;在所述光学玻璃片的上表面制作上微透镜阵列,所述上微透镜阵列包括多个上微透镜,所述上微透镜与下微透镜一一对应,且所述上微透镜的尺寸大于所述下微透镜的尺寸;将金属电极连接至对应的电路系统,形成凝视型多光谱图像传感器。
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