恭喜罕王微电子(辽宁)有限公司黄向向获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜罕王微电子(辽宁)有限公司申请的专利一种具有片上温度补偿的双谐振器及生产工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113992179B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111469524.1，技术领域涉及：H03H9/02；该发明授权一种具有片上温度补偿的双谐振器及生产工艺是由黄向向;杨敏;道格拉斯·雷·斯巴克斯;关健;孙斯佳设计研发完成，并于2021-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有片上温度补偿的双谐振器及生产工艺在说明书摘要公布了：一种具有片上温度补偿的双谐振器，锚点通过弹簧与振荡器连接，驱动电极和感应电极与振荡器连接，振荡器表面带有重掺杂氧化层；分为高温振荡器和低温振荡器两段，低温振荡器与MEMS芯片边缘呈15‑40度的夹角。一种具有片上温度补偿的双谐振器的生产工艺，刻蚀电极和低温振荡器天窗：通过深紫外刻蚀技术在SOI的器件层上刻蚀天窗，以形成振荡器与金属导线间的欧姆接触，沉积金属电极；将MEMS晶圆与电路晶圆键合：减薄抛光，形成终端互联。本发明的优点：通过频率温度补偿调整谐振器固有频率，提高压力传感器的输出精度，可以应用于MEMS谐振式压力传感器，或定时谐振器，过滤器，陀螺仪，谐振式化学传感器等领域。
本发明授权一种具有片上温度补偿的双谐振器及生产工艺在权利要求书中公布了：1.一种具有片上温度补偿的双谐振器，其特征在于：所述的具有片上温度补偿的双谐振器，包括锚点1，弹簧2，振荡器3，驱动电极4，感应电极5，重掺杂氧化层6；锚点1通过弹簧2与振荡器3连接，驱动电极4和感应电极5与振荡器3连接，振荡器3表面带有重掺杂氧化层6；分为高温振荡器和低温振荡器两段，低温振荡器与MEMS芯片边缘呈15-40度的夹角，以提高钟摆的热性能，有效提高温控灵敏度，对低温振荡器进行重掺杂，掺杂元素是硼，砷，磷元素用以提高其热性能。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人罕王微电子(辽宁)有限公司，其通讯地址为：113000 辽宁省抚顺市经济开发区北厚西出口21#楼(一层)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号