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龙图腾网恭喜广东先导先进材料股份有限公司申请的专利晶片清洗夹持装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111916378B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010989384.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶片清洗夹持装置是由廖彬;周铁军;刘兴达设计研发完成，并于2020-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶片清洗夹持装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶片清洗夹持装置，其包括：安装头、位置调节板和角度调节组件。安装头安装晶片。位置调节板连接于安装头，且位置调节板用于调节晶片相对冲水口的冲水位置。角度调节组件连接于位置调节板，且角度调节组件用于调节晶片相对冲水口的冲水角度。由于安装头可通过位置调节板调整安装头相对冲水口的位置、通过角度调节组件调整安装头相对冲水口的角度，则本申请的晶片清洗夹持装置能够实现对晶片相对冲水口的位置和角度的快速调整、并保证冲水口能够始终以最佳的角度和位置对不同类型或不同尺寸的晶片进行冲洗，从而使得晶片能够达到最佳的冲水效果，由此减少了因冲水问题导致的晶片表面问题，提高了晶片冲水效率和晶片表面质量。

本发明授权晶片清洗夹持装置在权利要求书中公布了：1.一种晶片清洗夹持装置，其特征在于，包括安装头（1）、位置调节板（2）和角度调节组件（3）；安装头（1）用于安装需要清洗的晶片，以使冲水口对晶片进行冲洗；位置调节板（2）连接于安装头（1），且位置调节板（2）用于调节安装头（1）上的晶片相对冲水口的冲水位置；角度调节组件（3）连接于位置调节板（2），且角度调节组件（3）用于调节安装头（1）上的晶片相对冲水口的冲水角度；冲水角度是指：当固定冲水口位置不变，将晶片竖立并垂直水平方向时为基准面，冲水口冲水垂直于晶片表面，而晶片顺时针旋转的角度即为晶片冲水时的冲水角度；安装头（1）还设置有第一连接孔（11B）和第一固定孔（11C），位置调节板（2）设置有第二连接孔（21）和导向槽（22）；安装头（1）通过第一连接孔（11B）、第二连接孔（21）与位置调节板（2）可转动地连接，且第一固定孔（11C）面向导向槽（22）设置并可选择地与导向槽（22）的对应位置固定连接；角度调节组件（3）包括定位板（31）和角度调节板（32），角度调节板（32）的一端可转动地连接于定位板（31）、另一端可选择地固定安装于定位板（31）上的对应位置；定位板（31）设置有第二安装孔（311）和多个第一定位孔（312），且所述多个第一定位孔（312）间隔设置并排列成弧形；角度调节板（32）的所述一端通过第二安装孔（311）可转动地连接于定位板（31）、所述另一端可选择地固定安装于对应的第一定位孔（312）。

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