恭喜三星显示有限公司高昇澈获国家专利权
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龙图腾网恭喜三星显示有限公司申请的专利形成图案部的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111192819B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911101731.4，技术领域涉及：H01L21/027；该发明授权形成图案部的方法是由高昇澈;沈俊昊;吴世允设计研发完成，并于2019-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本形成图案部的方法在说明书摘要公布了：提供了一种形成图案部的方法，所述方法包括：在目标对象上形成第一膜，第一膜具有第一固化收缩率；在第一膜上形成第二膜，第二膜具有大于第一固化收缩率的第二固化收缩率；以及使第一膜和第二膜图案化以形成图案。
本发明授权形成图案部的方法在权利要求书中公布了：1.一种形成图案部的方法，所述方法包括以下步骤：在目标对象上形成牺牲层；在所述牺牲层上形成第一膜，所述第一膜具有第一固化收缩率；在所述第一膜上形成第二膜，所述第二膜具有大于所述第一固化收缩率的第二固化收缩率；使所述第一膜和所述第二膜固化和图案化以形成图案；以及使所述牺牲层图案化以形成牺牲图案，其中，所述图案的一部分不被所述牺牲图案支撑，并且其中，所述第一固化收缩率和所述第二固化收缩率指固化反应期间的体积收缩率。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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