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龙图腾网获悉无锡学院申请的专利一种晶圆磨削后的平面度检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119124086B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411625317.4，技术领域涉及：G01B21/30；该发明授权一种晶圆磨削后的平面度检测装置是由韩基泰;李鹏;汤思达;马味敏;朱奎;李寅;于敏;张凯文设计研发完成，并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆磨削后的平面度检测装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆磨削后的平面度检测装置，涉及平面度检测领域，解决了现有的平面度检测装置易造成晶圆崩边的问题，包括：装置底座与固定安装于装置底座顶部的移动台，移动台的移动端固定安装有底架，底架的顶部固定安装有放置座，装置底座的顶部固定安装有安装架，安装架的外侧固定安装有电动伸缩杆，电动伸缩杆的输出端固定安装有检测探头；还包括：定料机构，用于对放置座上的晶圆定位吸附，定料机构安装于放置座的内侧；本发明通过定料机构，能够对放置座上的晶圆固定在放置座上，便于移动台带动底架上的放置座在检测探头的下方作水平移动，解决晶圆的侧边出现碰撞的问题，从而达到了提高检测精确性与便于取料的效果。

本发明授权一种晶圆磨削后的平面度检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆磨削后的平面度检测装置，其特征在于，包括：装置底座（1）与固定安装于所述装置底座（1）顶部的移动台（2），所述移动台（2）的移动端固定安装有底架（3），所述底架（3）的顶部固定安装有放置座（4），所述装置底座（1）的顶部固定安装有安装架（5），所述安装架（5）的外侧固定安装有电动伸缩杆（6），所述电动伸缩杆（6）的输出端固定安装有检测探头（7）；还包括：定料机构，用于对所述放置座（4）上的晶圆定位吸附，所述定料机构安装于所述放置座（4）的内侧，所述定料机构包括滑动安装于所述放置座（4）内侧的滑台（8），所述滑台（8）的外侧设置有凸环，所述凸环与所述放置座（4）的内侧相接触，所述放置座（4）为空心结构，所述放置座（4）的内侧固定安装有定位盘（9），所述定位盘（9）的底部与所述放置座（4）的底部之间转动安装有螺杆（10），所述滑台（8）的底部固定安装有四个呈中心对称分布的推杆（11），所述推杆（11）滑动贯穿所述定位盘（9），四个所述推杆（11）的底端之间固定安装有与所述螺杆（10）相配合的移动块（12），所述安装架（5）的内侧固定安装有电机（31），所述电机（31）的输出端与所述螺杆（10）的底端固定连接，所述滑台（8）的内侧固定安装有四个呈中心对称分布的吸气管（39），所述吸气管（39）的外侧滑动安装有延伸至所述滑台（8）下方的套筒（13），所述定位盘（9）的底部固定安装有电动气泵（14），所述电动气泵（14）通过连接管与四个所述套筒（13）对接，所述套筒（13）的内侧还设置有用于关闭所述吸气管（39）的密封组件；抬料机构，用于将所述放置座（4）上的晶圆抬起取料，所述抬料机构安装于所述放置座（4）的内侧，所述抬料机构包括滑动安装于所述滑台（8）内侧的顶杆（15），所述顶杆（15）的顶部固定安装有顶板（16），所述滑台（8）的顶部设置有橡胶板（17），所述橡胶板（17）的表面开设有与四个所述吸气管（39）相对应的吸气孔，所述橡胶板（17）的底部固定安装有四个呈中心对称分布的插杆（18），所述滑台（8）顶部开设有供所述插杆（18）限位插接的插槽，所述顶杆（15）的外侧固定安装有滑环（19），所述滑环（19）的顶部与所述滑台（8）的内侧之间固定安装有弹簧一（20），所述滑台（8）的内侧滑动安装有四个呈中心对称分布的推块（21），所述推块（21）靠近所述顶杆（15）的一侧固定安装有抵杆（22），所述抵杆（22）的一端固定安装有三角块（23），所述顶杆（15）的底端为圆弧形结构并与所述三角块（23）的斜面相接触，所述放置座（4）的内侧固定安装有四个分别位于四个所述推块（21）正上方的抵块（24），所述抵块（24）的底部为斜面结构，所述推块（21）靠近所述抵块（24）的一侧为弧形结构；护料机构，用于为所述放置座（4）上的晶圆提供取料防护，所述护料机构安装于所述放置座（4）的顶部，所述护料机构包括四个呈中心对称转动安装于所述滑台（8）凸环上的活动杆（25），所述放置座（4）的顶部开设有供所述活动杆（25）限位滑动的穿孔，所述活动杆（25）的外侧设置有定位环（26），所述定位环（26）固定安装于所述放置座（4）的顶部内壁，所述定位环（26）的内侧固定安装有两个呈中心对称分别的螺旋条（27），所述活动杆（25）的外侧开设有与所述螺旋条（27）相配合的螺旋槽，所述活动杆（25）的顶部固定安装有位于所述滑台（8）上方的挡板（28），所述挡板（28）的外侧设置有橡胶护条（29），所述橡胶护条（29）呈弧形结构，所述放置座（4）的顶部开设有供所述挡板（28）收入的收纳槽，所述橡胶护条（29）靠近所述活动杆（25）的一侧固定安装有拉板（30），所述拉板（30）的底部与所述挡板（28）的顶部相接触，所述挡板（28）的顶部开设有供所述拉板（30）限位插接的U形卡槽。

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