恭喜朗姆研究公司杰瑞尔·肯特·安托利克获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利分离室组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113272945B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980087843.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权分离室组件是由杰瑞尔·肯特·安托利克设计研发完成，并于2019-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本分离室组件在说明书摘要公布了：提供一种具有室体的处理模块，该室体具有下室与上室。该下室被配置成沿着对角线界面而与该上室配合。提供具有衬底支撑件的电极组件。该电极组件耦合至该上室。铰链连接件将该下室的第一侧耦合至该上室的第一侧。该上室被配置成沿着该对角线界面分离与打开并且围绕该铰链连接件旋转。该电极组件被配置成沿着远离该下室的方向随着该上室旋转。
本发明授权分离室组件在权利要求书中公布了：1.一种处理模块，其包含：室体，其包含下室与上室，所述下室与所述上室被配置成沿着对角线界面配合；电极组件，其具有衬底支撑件，所述电极组件耦合至所述上室；铰链连接件，其将所述下室的第一侧耦合至所述上室的第一侧，所述上室被配置成沿着所述对角线界面分离且围绕所述铰链连接件旋转，并且所述电极组件被配置成沿着远离所述下室的方向与所述上室一起旋转；以及电极连接组件，其能连接至可调整的间隙界面上且能从所述可调整的间隙界面移除，所述可调整的间隙界面耦合至所述上室的前侧，所述可调整的间隙界面被配置成在所述电极连接组件移除时与所述上室一起旋转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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