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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利晶片卡盘组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112368820B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980043789.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权晶片卡盘组件是由亚伦·路易斯·拉布里;克劳迪乌·瓦伦汀·普哈;罗伯特·马歇尔·斯托威尔设计研发完成，并于2019-05-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶片卡盘组件在说明书摘要公布了：本公开总体上涉及用于在处理期间支撑半导体晶片的卡盘技术。在一示例中，晶片卡盘组件包含卡盘毂部及设置在卡盘毂部内的定心毂部。啮合设备能分别在啮合位置与脱离位置之间操作以使卡盘毂部与定心毂部啮合，以防止在至少第一方向上在两者之间的相对运动、或允许该两者之间的相对运动。提供卡盘马达，以基于啮合设备的啮合或脱离位置而在晶片处理操作和晶片定心操作期间选择性地使该卡盘毂部和或该定心毂部转动。多个卡盘臂被安装在卡盘毂部上，每一卡盘臂在邻近该卡盘毂部的近端与远离该卡盘毂部的远端之间径向地延伸。多个定心凸轮中每一个的被安装在卡盘臂的远端处或附近且是可移动的，以响应于该定心毂部相对于该卡盘毂部的旋转运动而啮合或释放晶片边缘。

本发明授权晶片卡盘组件在权利要求书中公布了：1.一种用于支撑晶片的晶片卡盘组件，所述卡盘组件包含：卡盘毂部；定心毂部，其被设置在所述卡盘毂部内；啮合设备，其能分别在啮合位置与脱离位置之间操作，以使所述卡盘毂部与所述定心毂部啮合，从而防止在所述卡盘毂部与所述定心毂部之间的沿顺时针旋转方向或逆时针旋转方向中的一者的相对运动、或允许在所述卡盘毂部与所述定心毂部之间的沿任一旋转方向的相对运动；卡盘马达，其用于基于所述啮合设备的所述啮合位置或所述脱离位置而在晶片处理操作期间和晶片定心操作期间选择性地使所述卡盘毂部和或所述定心毂部转动；多个卡盘臂，其被安装在所述卡盘毂部上，每一卡盘臂在邻近所述卡盘毂部的近端与远离所述卡盘毂部的远端之间径向地延伸；以及多个定心凸轮，其各自被安装在卡盘臂的远端处或附近，且能相对于所述定心毂部而向内或向外径向地移动，以响应于所述定心毂部相对于所述卡盘毂部的旋转运动而啮合或释放所支撑的晶片的边缘。

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