恭喜深圳市石金科技股份有限公司成如诗获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市石金科技股份有限公司申请的专利一种带固定结构的硅片花篮及其固定方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119812069B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510294227.X,技术领域涉及:H01L21/673;该发明授权一种带固定结构的硅片花篮及其固定方法是由成如诗;毛爱民;李文红;付浩然;吴峰光设计研发完成,并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带固定结构的硅片花篮及其固定方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种带固定结构的硅片花篮及其固定方法,涉及硅片花篮技术领域,包括第一端板和第二端板,第一端板和第二端板间固定设置有多个均匀分布的花篮齿杆,花篮齿杆上开设有多个等距设置的硅片槽,硅片槽内开设有放置槽,第二端板上固定设置有防护罩,还包括导向槽、用于固定放置在硅片槽内的硅片的固定机构、设置于第二端板上的传动机构以及设置于防护罩上的驱动机构。本装置通过设置有固定机构,从而使得工作人员在将硅片放入花篮齿杆上的硅片槽后,本装置可同时对多个硅片进行同步的按压固定,从而避免了放入本装置中的硅片在运输的过程中从花篮齿杆上滑落造成硅片损坏的问题。
本发明授权一种带固定结构的硅片花篮及其固定方法在权利要求书中公布了:1.一种带固定结构的硅片花篮,包括第一端板(1)和第二端板(2),第一端板(1)和第二端板(2)间固定设置有多个均匀分布的花篮齿杆(3),花篮齿杆(3)上开设有多个等距设置的硅片槽(4),硅片槽(4)内开设有放置槽(5),花篮齿杆(3)内开设有与放置槽(5)连通的横槽(6),花篮齿杆(3)上开设有与横槽(6)连通的L形槽(7),第一端板(1)上固定设置有控制装置(8),其特征在于,带固定结构的硅片花篮还包括:导向槽(10),开设于花篮齿杆(3)靠近第二端板(2)的一侧表面;固定机构,具有多组,且多组固定机构等距设置于花篮齿杆(3)上,固定机构用于固定放置在硅片槽(4)内的硅片;传动机构,具有多组,且多组传动机构均匀设置于第二端板(2)上;驱动机构与控制装置(8)电连接;固定机构包括:固定块(11),滑动设置于放置槽(5)内,固定块(11)用于固定放置在硅片槽(4)内的硅片;复位部,设置于横槽(6)内,复位部用于推动固定块(11);滑动部,设置于L形槽(7)内,滑动部用于对复位部施加作用力;复位部包括:复位板(12),滑动设置于横槽(6)内;梯形块(13),固定设置于复位板(12)靠近L形槽(7)的表面,梯形块(13)远离复位板(12)的一端设置有斜面,梯形块(13)上滚动设置有多个第一滚珠(14);推杆(15),固定设置于复位板(12)上,且推杆(15)远离复位板(12)的一端与固定块(11)固定连接;复位弹簧(16),设置于横槽(6)内,且复位弹簧(16)始终处于压缩状态。
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