恭喜蓝河科技(绍兴)有限公司徐春阳获国家专利权
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龙图腾网恭喜蓝河科技(绍兴)有限公司申请的专利气体注入装置和水平流气相沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119824393B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510258676.9，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权气体注入装置和水平流气相沉积设备是由徐春阳;张志明;颜邦纯;邢志刚;张伟设计研发完成，并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体注入装置和水平流气相沉积设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种气体注入装置和水平流气相沉积设备，气体注入装置包括：顶板；支撑套体，设置于顶板底部，部分侧壁露出；顶部匀热机构，围设于支撑套体的露出侧壁，并位于顶板底部所在的一侧；旋转供气组件，包括：第一旋转密封组件，底部以动密封方式设于顶板的顶部，连接支撑套体，以带动顶部匀热机构转动；第二旋转密封组件，底部设于第一旋转密封组件顶部；进气装置，贯穿支撑套体和第一旋转密封组件，并设于第二旋转密封组件，用于向工艺腔室内提供工艺气体，以及在第二旋转密封组件驱动下相对支撑套体转动，有利于衬底表面的温度均匀性和气体浓度均匀性。
本发明授权气体注入装置和水平流气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种气体注入装置，其特征在于，包括：顶板100；支撑套体310，设置于所述顶板100底部，至少部分侧壁露出；顶部匀热机构320，围设于所述支撑套体310的露出侧壁，与所述顶板100之间具有间距；旋转供气组件400，包括：第一旋转密封组件410，底部以动密封方式设于所述顶板100的顶部，连接所述支撑套体310，以带动所述顶部匀热机构320转动；第二旋转密封组件420，底部设于所述第一旋转密封组件410顶部；进气装置430，贯穿所述支撑套体310和所述第一旋转密封组件410，并设于所述第二旋转密封组件420，以在所述第二旋转密封组件420驱动下相对所述支撑套体310转动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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