乂易半导体科技(无锡)有限公司朱焱均获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉乂易半导体科技(无锡)有限公司申请的专利炉管内温度监测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222865621U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420787035.3，技术领域涉及：F27D21/00；该实用新型炉管内温度监测装置是由朱焱均;王尧林;李涛;燕强;刘康华设计研发完成，并于2024-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本炉管内温度监测装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种炉管内温度监测装置，用于监测炉管的内部温度，所述炉管设置在基座上，且所述炉管内设置有晶舟，所述晶舟沿高度方向平行放置有若干晶圆，所述炉管内温度监测装置包括：第一测温模块，设置在所述炉管的顶端，所述第一测温模块包括第一高温计及辐射传导窗口；第二测温模块，包括第二高温计，所述第二高温计设置在所述基座上且延伸至所述炉管内。通过设置所述第一高温计及所述第二高温计分别接收位于所述晶舟最上方和最下方的晶圆的热辐射以实时监控所述炉管的顶部温度和底部温度，配合传统的温度传感器和热电偶探头可实现对炉管各个区域的温度测量，进而便于对炉管内温度进行直观且精准地调控，保证工艺所需的温度，从而保证了工艺的顺畅进行，提高了产品的合格率。
本实用新型炉管内温度监测装置在权利要求书中公布了：1.一种炉管内温度监测装置，用于监测炉管的内部温度，所述炉管设置在基座上，且所述炉管内设置有晶舟，所述晶舟沿高度方向平行放置有若干晶圆，其特征在于，所述炉管内温度监测装置包括：第一测温模块，设置在所述炉管的顶端，所述第一测温模块包括第一高温计及辐射传导窗口，所述第一高温计位于所述炉管外，所述辐射传导窗口设置在所述炉管的顶壁上，位于所述晶舟最上方的晶圆表面的热辐射经所述辐射传导窗口传递给所述第一高温计，所述第一高温计基于接收到的热辐射输出所述炉管的顶部温度；第二测温模块，包括第二高温计，所述第二高温计设置在所述基座上且延伸至所述炉管内，所述第二高温计用于接收位于所述晶舟最下方的晶圆表面的热辐射，并基于所述接收到的热辐射输出所述炉管的底部温度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人乂易半导体科技(无锡)有限公司，其通讯地址为：214142 江苏省无锡市新吴区新华路5号创新创意产业园C栋333-335、337室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号