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龙图腾网恭喜广东柏兹电子科技有限公司申请的专利一种气浮式调节探针台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112505373B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011498931.0，技术领域涉及：G01R1/067；该发明授权一种气浮式调节探针台是由胡呈祥;陈晓锋设计研发完成，并于2020-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气浮式调节探针台在说明书摘要公布了：本发明公开了一种气浮式调节探针台，包括机台及设置于机台上的显微镜及探针馈电单元，其特征在于：所述机台的操作平台上设有移动载物台以及探针移动控制座，该移动载物台的底部设有气浮轴承，所述移动载物台上设有支撑轴及与支撑轴转动配合的且能够升降的旋转升降结构，所述探针移动控制座上设有安装板、X向调节机构、Y向调节机构及Z向调节机构，且所述探针馈电单元设置于安装板上，所述旋转升降结构上设有用于放置测试元件的载物板，所述安装板通过X向调节机构、Y向调节机构及Z向调节机构带动使探针馈电单元的探针与测试元件接触导通。

本发明授权一种气浮式调节探针台在权利要求书中公布了：1.一种气浮式调节探针台，包括机台及设置于机台上的显微镜及探针馈电单元，其特征在于：所述机台的操作平台上设有移动载物台以及探针移动控制座，该移动载物台的底部设有气浮轴承，所述移动载物台上设有支撑轴及与支撑轴转动配合的且能够升降的旋转升降结构，所述探针移动控制座上设有安装板、X向调节机构、Y向调节机构及Z向调节机构，且所述探针馈电单元设置于安装板上，所述旋转升降结构上设有用于放置测试元件的载物板，所述安装板通过X向调节机构、Y向调节机构及Z向调节机构带动使探针馈电单元的探针与测试元件接触导通，所述旋转升降结构包括支撑套筒及转动座，所述支撑套筒通过滚珠套与支撑轴配合，所述转动座通过轴承组件与支撑套筒连接，所述载物板与支撑套筒连接，所述转动座上设有斜槽及手杆，所述移动载物台上设有支板，该支板上设有位于斜槽中的导引柱，所述移动载物台上设有角度微调机构，角度微调机构包括角度调节板、相对设置的调节支撑板、设置于一调节支撑板上的弹性顶杆及设置于另一调节支撑板上的角度调节杆，该角度调节板与支撑套筒连接，所述角度调节板位于弹性顶杆及角度调节杆间且与上述两者接触。

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