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恭喜杭州能工科技有限公司伞海生获国家专利权

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龙图腾网恭喜杭州能工科技有限公司申请的专利谐振式声表面波无线无源温/湿度传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111486904B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010517124.2,技术领域涉及:G01D21/02;该发明授权谐振式声表面波无线无源温/湿度传感器是由伞海生;王斌设计研发完成,并于2020-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。

谐振式声表面波无线无源温/湿度传感器在说明书摘要公布了:本发明公开了一种谐振式声表面波无线无源温湿度传感器,该温湿度传感器由温度传感器和湿度传感器平行共面集成在一起,包括复合压电基底层、叉指换能器、反射栅阵、表面压电波导层,反射栅阵形成谐振腔,温度传感器和湿度传感器具有相同的谐振器结构和表面压电波导层结构,在湿度传感器的表面压电波导层上方集成有纳米湿敏材料。本发明由于声表面波无源无线传感器具有非接触、无电源、抗干扰、保密性好、成本低等优点,已广泛应用于许多领域。通过使用不同工作频段的温湿度传感器阵列,传感器阵列无需引线连接,可分布于不同的工作地点,应用不受限制,特别适合一些应用环境复杂和恶劣的场合。

本发明授权谐振式声表面波无线无源温/湿度传感器在权利要求书中公布了:1.谐振式声表面波无线无源温湿度传感器,其特征在于该温湿度传感器由温度传感器和湿度传感器平行共面集成在一起,包括复合压电基底层、设置在复合压电基底层上的叉指换能器(1-3)、对称分布在叉指换能器(1-3)左右两边的等间距的反射栅阵(1-4)、及设置在叉指换能器(1-3)上方的表面压电波导层(1-5),所述反射栅阵(1-4)形成谐振腔,复合压电基底层由厚度为100nm~10mm的叉指换能器压电层(1-2)和厚度为200mm~500mm的基底压电层(1-1)组成;所述叉指换能器压电层(1-2)选用氧化锌、氮化铝、锆钛酸铅压电陶瓷、偏聚氟乙烯中的任一材料制成;所述基底压电层(1-1)选用能够产生声表面横波的ST-90°x石英、37°y-90°x石英、41°yx-LiNbO3、36°yx-LiTaO3中的任一材料制成,所述温度传感器和湿度传感器具有相同的谐振器结构和表面压电波导层结构,在湿度传感器的表面压电波导层上方集成有纳米湿敏材料(1-6);表面压电波导层(1-5)厚度为10-100nm,其采用与叉指换能器压电层相同的材料,或采用氧化硅、氧化钛、氮化硅、聚甲基丙烯酸甲酯中的任一种。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人杭州能工科技有限公司,其通讯地址为:310051 浙江省杭州市滨江区西兴街道联慧街88号联慧科创中心A座10层1011-1019室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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