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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利集成式工具升降机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113748499B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080032091.0，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权集成式工具升降机是由保罗·艾伯特·阿凡西诺;杰瑞尔·K·安托利克;丹尼·亚瑟·布朗;詹森·李·特雷德韦尔设计研发完成，并于2020-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本集成式工具升降机在说明书摘要公布了：提供了半导体处理工具，其包含：上部支撑框架；沿第一轴布置的多个半导体处理室；线性引导系统，其由上部支撑框架固定地支撑，并沿着基本平行于第一轴的第二轴延伸；以及载架。每一处理室均具有相对于上部支撑框架而固定地安装的基部，且具有包含一或多个升降特征的可卸除式上盖。载架包含升降臂，其被配置成围绕竖直轴而枢转，该竖直轴基本垂直于第二轴，载架被配置成与线性引导系统能移动地接合且相对于线性引导系统而沿着第二轴平移。载架以及升降臂均为可移动式，以使升降臂的升降特征接合接口可以被移动以与任一可卸除式上盖的升降特征接合。

本发明授权集成式工具升降机在权利要求书中公布了：1.一种半导体处理工具，其包含：上部支撑框架；沿着第一轴布置的第一多个半导体处理室；第一线性引导系统，其由所述上部支撑框架固定地支撑，并沿着基本平行于所述第一轴的第二轴延伸；以及第一载架，其中：每一半导体处理室均具有相对于所述上部支撑框架而固定地安装的基部，且具有包含一或多个升降特征的可卸除式上盖，所述第一载架包含具有一或多个连杆的第一升降臂，所述第一升降臂被配置成围绕竖直轴枢转，所述竖直轴基本上垂直于所述第二轴，所述第一载架被配置成与所述第一线性引导系统能移动地接合且相对于所述第一线性引导系统而沿着所述第二轴平移，所述第一升降臂包含升降特征接合接口，所述升降特征接合接口被配置成与所述第一多个半导体处理室的所述可卸除式上盖中的任一个的所述升降特征接合，所述第一载架和所述第一升降臂都是能移动的，使得所述升降特征接合接口能被移动以与所述第一多个半导体处理室的所述可卸除式上盖中的任一个的所述升降特征接合，以及其中所述升降特征接合接口利用接头而连接至所述第一升降臂的远端，所述接头被配置成让所述升降特征接合接口绕着垂直于所述竖直轴的两个或更多的轴旋转。

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