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龙图腾网恭喜盛达欧米科有限公司申请的专利用于确定样品表面处的压力的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113169016B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980079910.4，技术领域涉及：H01J37/285；该发明授权用于确定样品表面处的压力的方法是由彼得·阿曼;安德斯·尼尔森设计研发完成，并于2019-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于确定样品表面处的压力的方法在说明书摘要公布了：描述了一种用于监测放置在样品区域2中的样品1的样品表面Ss处的样品压力的方法，其中样品表面Ss面对位于壁6中的孔3，该壁将样品区域2与被抽真空的低压腔室4分隔开。该方法包括以下步骤：确定样品表面Ss处的样品参考压力与低压腔室4中的腔室参考压力之间的关系；将样品1设置成使样品表面Ss在距孔3一段距离处面对孔3103；提供样品压力104；测量低压腔室4内的腔室压力105；以及使用测得的腔室压力以及所确定的样品参考压力和腔室参考压力之间的关系来确定样品压力106。

本发明授权用于确定样品表面处的压力的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于监测放置在样品区域（2）中的样品（1）的样品表面（Ss）处的样品压力的方法，所述样品表面（Ss）面对位于壁（6）中的孔（3），所述壁将所述样品区域（2）与被抽真空的低压腔室（4）分隔开，其特征在于，所述方法包括以下步骤：步骤a）在所述样品区域（2）中提供具有多个不同的样品参考压力的气体（101），其中，不同的所述样品参考压力中的每个所述样品参考压力都高于10mbar，步骤b）对于每个所述样品参考压力，测量所述低压腔室（4）内产生的腔室参考压力，以确定所述样品参考压力与所述腔室参考压力之间的关系（102），步骤c）将所述样品（1）布置成使所述样品表面（Ss）在距所述孔（3）一段距离处面对所述孔（3）（103），其中，所述样品表面（Ss）与所述孔（3）之间的距离保持为小于300μm，步骤c1）在端表面（S）中设置至少一个气体出口（5），所述至少一个气体出口被设置成将来自气体供应设备（20）的气体引导到所述端表面（S）与所述样品表面（Ss）之间的体积中，步骤d）在所述样品表面处提供具有样品表面压力的气体（104），其中，所述样品表面压力通过从所述气体供应设备（20）向所述至少一个气体出口（5）供应气体来提供，步骤e）测量所述低压腔室（4）内的腔室压力（105），以及步骤f）使用所测得的腔室压力以及所确定的所述样品参考压力与所述腔室参考压力之间的关系来确定样品表面压力（106），其中，所述低压腔室（4）中的压力小于每个所述样品参考压力。

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