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龙图腾网恭喜核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司申请的专利一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112921294B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911236265.0，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器是由李民久;陈庆川;蒲世豪;贺岩斌;姜亚南;熊涛;黄雨;邵斌设计研发完成，并于2019-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器在说明书摘要公布了：本发明属于自动控制技术和电力电子技术领域，具体涉及一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器。当电源输出高频脉冲时，该电弧检测器通过不断采样电源输出脉冲占空比内的电感电流值，并计算出电感电流变化斜率，这样在电弧产生的初期，电弧电流开始爬升，该控制器就已侦测到电弧，然后迅速的关断电源的输出能量，减小电弧能量。由于该电弧检测器采用直接采样电感电流并快速计算电流变化率的方法，能在电弧电流爬升的初期检测到电弧的发生，能更快的关断电源输出，从而能更有效的抑制住电弧能量并灭掉电弧，提高了镀膜质量、产品成品率和生产效率。

本发明授权一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器，包括电弧抑制电路、电流互感器LEM、ADC采样电路103和可编程逻辑器件113，可编程逻辑器件113的内部电路包括多脉冲使能电路112、第一寄存器105、第二寄存器106、减法器107、除法器108、斜率比较电路110、PWM脉冲形成电路111和SPI串口寄存器109；其特征在于：电弧抑制电路由一个电感L和至少一只二极管D并联组成，脉冲电源的输出高压脉冲形成单元102的正向输出端连接到二极管组件的阴极，二极管的阳极连接到等离子体负载101的一端；电流互感器LEM套在电弧抑制电路的电感的一端输出线上，电流互感器LEM的取样信号输出端并接取样电阻，将电感电流转换为隔离后的电压信号；电流互感器LEM的输出电阻取样信号连接到ADC采样电路103的模拟信号输入端，ADC采样电路103可适时采样电流互感器LEM的输出电阻取样信号；ADC采样电路103的并行数据输出信号端口Data、采样使能输入信号端口EN1、片选输入信号端口CS和读数据输入信号端口RD分别连接到可编程逻辑器件113的IO端口，使可编程逻辑器件113适时控制ADC采样电路103对模拟输入信号进行采样和采样数据读取；可编程逻辑器件113输出IO端口连接到驱动隔离电路104的输入端，驱动隔离电路104的输出端连接到脉冲电源的输出高压脉冲形成单元102的控制输入端，实现对电源输出脉冲的驱动和封锁控制；可编程逻辑器件113的内部电路包括多脉冲使能电路112、两个串联的先进先出寄存器105、106、减法器107、除法器108、斜率比较电路110、PWM脉冲形成电路111、和SPI串口寄存器109。

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