恭喜中国电子科技集团公司第四十六研究所李明智获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国电子科技集团公司第四十六研究所申请的专利一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备及实现方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110645306B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911060758.3,技术领域涉及:F16F13/00;该发明授权一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备及实现方法是由李明智;韩焕鹏;张颖武;莫宇;李明佳;张伟才设计研发完成,并于2019-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备及实现方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备及实现方法,设备包括上壳体、柔性受力弹簧、外壳体、振动传递杆下弹簧、隔振器、弹性件、缓冲器,其中隔振器包括振动接收杆、扭转弹簧、振动传递杆、振动传出杆,缓冲器由线圈和磁铁、大力振动传递杆组成,利用缓冲器的磁铁切割磁感线运动起到阻尼缓冲的作用减振,利用隔振器的扭转弹簧和振动传递杆下弹簧作用起到对于轻微振动的高敏感度,响应速度快的阻振效果,效果是,首次采用磁铁‑线圈的增大系统阻尼量的方法,从而到达快速削弱大幅振动,减小晶棒因振动受损的潜在隐患;当振幅变小或者振源频率变低时,隔振器不仅保护内部的结构,还提高隔振的性能。
本发明授权一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备及实现方法在权利要求书中公布了:1.一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备,包括上壳体1、柔性受力弹簧(2)、外壳体(3)、振动传递杆下弹簧(4)、隔振器(5)、弹性件(6)、缓冲器(7),其中隔振器(5)包括振动接收杆(5-1)、扭转弹簧(5-2)、振动传递杆(5-3)、关节式连接结构(5-4),振动传出杆(5-5),用扭转弹簧(5-2)将振动传递杆(5-3)的锤骨端与振动接收杆(5-1)的砧骨端在一起,振动传递杆(5-3)末端与振动传出杆(5-5)由关节式连接结构(5-4)连接在一起,其特征在于:所述的缓冲器(7)由环路闭合线圈(7-1)和磁铁(7-2)、大力振动传递杆(7-3)组成,所述的大力振动传递杆(7-3)一端有螺纹、另一端固定磁铁(7-2),大力振动传递杆(7-3)螺固在上壳体1内上端面中心,所述的弹性件(6)为有中心孔的环状体,环绕中心孔有四个均匀对称的通孔,弹性件(6)底端面的四个均匀对称的通孔处有与振动接收杆(5-1)上端面相同的凹槽,四个柔性受力弹簧(2)均高于弹性件(6)厚度,置于四个均匀对称的通孔内并固定在上壳体1内上端面,四个隔振器(5)两两相背放置,其四个振动接收杆(5-1)置于四个均匀对称的凹槽内,并紧压在柔性受力弹簧(2)上,弹性件(6)置于上壳体1内,隔振器柔性受力弹簧(2)、关节式连接结构(5-4)的内置弹簧、扭转弹簧(5-2)、振动传递杆下弹簧(4)未工作时都处于压缩状态,以增加隔振器(5)内部零件间的紧凑性,隔振器(5)的振动传递杆(5-3)中间部位的下侧面固定振动传递杆下弹簧(4)一端,振动传递杆下弹簧(4)另一端固定于外壳体(3)内,隔振器(5)的振动传出杆(5-5)置于大地上,所述的外壳体(3)内径大于上壳体1外径,外壳体(3)内底面的中心处有带内孔的凸台(3-2),环路闭合线圈(7-1)固定于凸台(3-2)的内孔内,环路闭合线圈(7-1)内径大于磁铁(7-2)外径,当大力振动传递杆(7-3)带动磁铁(7-2)向下运动时,磁铁(7-2)可穿入环路闭合线圈(7-1)内,上壳体1部分置于外壳体(3)内,上壳体1可在外壳体(3)内沿轨道上下滑动成动配合,由于磁铁(7-2)的直径大于凸台(3-2)上孔的直径,所以不会弹出外壳体(3);所述的柔性受力弹簧(2)的杨氏模量大于环状弹性件(6)。
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