恭喜ASML荷兰有限公司G·O·瓦斯琴科获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于延长目标材料递送系统寿命的装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113170566B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980071670.3，技术领域涉及：H05G2/00；该发明授权用于延长目标材料递送系统寿命的装置和方法是由G·O·瓦斯琴科;C·拉加古鲁;A·I·厄肖夫;J·M·卢肯斯;M·C·亚伯拉罕;B·罗林格设计研发完成，并于2019-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于延长目标材料递送系统寿命的装置和方法在说明书摘要公布了：公开了一种用于生成EUV辐射的系统，在系统中通过如下控制流过液滴生成器中的喷嘴的孔口320中的目标材料的电流：提供针对电流的交替的较低阻抗路径和或通过限制施加到液滴生成器的驱动信号的高频分量。
本发明授权用于延长目标材料递送系统寿命的装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于生成EUV辐射的装置，包括：目标材料分配器，所述目标材料分配器包括限定腔体和孔口的结构，所述腔体被布置为接收目标材料，所述孔口被布置为从所述腔体接收目标材料，并递送目标材料的液滴流；电可致动元件，所述电可致动元件机械地耦合到所述腔体，并且被布置为基于驱动信号在所述液滴流中引起速度扰动；以及驱动信号生成器，所述驱动信号生成器电耦合到所述电可致动元件以用于供应所述驱动信号，与所述电可致动元件相连的电连接件，所述电连接件被布置为控制流过所述孔口处的所述目标材料的电流的量；其中所述电可致动元件在其外径上具有外部电极，并且在其内径上具有内部电极，并且其中所述内部电极通过所述电连接件连接到接地，其中所述外部电极电连接至所述驱动信号生成器。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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