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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利使用电压和电流测量来控制双区陶瓷基座获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112106181B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980031128.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权使用电压和电流测量来控制双区陶瓷基座是由亚伦·德宾;拉梅什·钱德拉塞卡拉;德克·鲁道夫;托马斯·G·朱厄尔设计研发完成，并于2019-05-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本使用电压和电流测量来控制双区陶瓷基座在说明书摘要公布了：一种用于衬底处理系统的控制器包括电阻计算模块，其被配置为：接收分别与衬底支撑件的第一加热器元件和第二加热器元件相对应的第一电流和第二电流；接收分别与所述第一加热器元件和所述第二加热器元件相对应的第一电压和第二电压；基于所述第一电压和所述第一电流计算所述第一加热器元件的第一电阻；并且基于所述第二电压和所述第二电流计算所述第二加热器元件的第二电阻。温度控制模块被配置为分别基于所述第一电阻和所述第二电阻以及相应的在所述第一电阻和所述第二电阻与所述衬底支撑件的第一温度和第二温度之间的关系来分开控制提供给所述第一加热器元件和所述第二加热器元件的功率。

本发明授权使用电压和电流测量来控制双区陶瓷基座在权利要求书中公布了：1.一种用于衬底处理系统的控制器，所述控制器包括：电阻计算模块，其被配置为：i接收分别与衬底支撑件的第一加热器元件和第二加热器元件相对应的第一电流和第二电流，ii接收分别与所述第一加热器元件和所述第二加热器元件相对应的第一电压和第二电压，iii基于所述第一电压和所述第一电流计算所述第一加热器元件的第一电阻，并且iv基于所述第二电压和所述第二电流计算所述第二加热器元件的第二电阻；温度计算模块，其被配置为i基于所述第一电阻和将电阻与温度相关联的所存储的数据来计算所述衬底支撑件的第一区域的第一温度，ii基于所述第二电阻和所存储的所述数据来计算所述衬底支撑件的第二区域的第二温度,iii基于所感测到的温度与所计算出的所述第一温度和所述第二温度中的至少一者之间的比较来选择性地调节所存储的所述数据；和温度控制模块，其被配置为分别基于所述第一电阻和所述第二电阻以及相应的在i所述第一电阻和所述第一温度之间的关系和在ii所述第二电阻和所述第二温度之间的关系来分开控制提供给所述第一加热器元件和所述第二加热器元件的功率。

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