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龙图腾网恭喜蓝河科技(绍兴)有限公司申请的专利设有旋转基座的气相生长设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119753641B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510258672.0，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权设有旋转基座的气相生长设备是由徐春阳;张志明;颜邦纯;邢志刚;张伟设计研发完成，并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本设有旋转基座的气相生长设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种设有旋转基座的气相生长设备，气相生长设备还包括工艺腔室、由内向外依次活动套设的载体转轴和匀热转动轴，旋转驱动组件，第一加热装置和匀热装置。载体转轴和匀热转动轴分别连接旋转基座和匀热装置，匀热装置围绕载体转轴设于旋转基座和第一加热装置之间，旋转驱动组件顶部动密封设于工艺腔室，顶面边部连接匀热转动轴以驱动匀热转动轴能够相对旋转基座旋转，载体转轴贯穿匀热转动轴后设于旋转驱动组件顶面中部，以在旋转驱动组件带动下使旋转基座相对匀热装置转动，从而不仅能够对基座和加热器之间的温场进行独立的匀热，并能够根据旋转基座的转速情况选择进行匀热与否以及匀热的程度，有利于提高衬底表面的温度的均匀性。

本发明授权设有旋转基座的气相生长设备在权利要求书中公布了：1.一种设有旋转基座的气相生长设备，其特征在于，包括工艺腔室100、旋转装置，以及设于所述工艺腔室100内的用于承载衬底的旋转基座110、第一加热装置120和匀热装置130；所述第一加热装置120设于所述旋转基座110和所述工艺腔室100的底壁之间，以提供热量；所述旋转装置包括由内向外依次活动套设的载体转轴310和匀热转动轴320，分别连接所述旋转基座110和所述匀热装置130，所述匀热装置130围绕所述载体转轴310设于所述旋转基座110和所述第一加热装置120之间；所述旋转装置包括旋转驱动组件400，所述旋转驱动组件400顶部动密封设于所述工艺腔室100，顶面边部连接所述匀热转动轴320以驱动所述匀热转动轴320能够带动所述匀热装置130相对所述旋转基座110旋转，所述载体转轴310贯穿所述匀热转动轴320后设于所述旋转驱动组件400顶面中部，以在所述旋转驱动组件400带动下使所述旋转基座110相对所述匀热装置130转动。

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