恭喜安徽国芯智能装备有限公司薛业保获国家专利权
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龙图腾网恭喜安徽国芯智能装备有限公司申请的专利一种光刻机板体定位机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119758681B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510258283.8，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光刻机板体定位机构是由薛业保;章广飞;王运钢设计研发完成，并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机板体定位机构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光刻机板体定位机构，涉及光刻机技术领域，包括可朝着相反方向同步移动的掩膜对接台和晶圆对接台，所述掩膜对接台、晶圆对接台通过同一驱动单元相连，且掩膜对接台、晶圆对接台上分别设有掩膜载架和晶圆载架，当驱动单元控制掩膜对接台与晶圆对接台移动对接后，所述掩膜载架位于晶圆载架的正上方。所述掩膜对接台上设有可控制掩膜载架升、降运动的辅助换料单元。本发明通过驱动单元的设置，可使得掩膜对接台、晶圆对接台同步移动，以达到快速定位上、下分布的掩膜版以及晶圆的目的。提升了掩膜对接台和晶圆对接台对接操作的精准度，降低对接误差，有效保障了光刻加工的工作质量。
本发明授权一种光刻机板体定位机构在权利要求书中公布了：1.一种光刻机板体定位机构，其特征在于：包括可朝着相反方向同步移动的掩膜对接台（1）和晶圆对接台（2），所述掩膜对接台（1）、晶圆对接台（2）通过同一驱动单元相连，且掩膜对接台（1）、晶圆对接台（2）上分别设有掩膜载架（11）和晶圆载架（21），当驱动单元控制掩膜对接台（1）与晶圆对接台（2）移动对接后，所述掩膜载架（11）位于晶圆载架（21）的正上方；所述掩膜对接台（1）上设有可控制掩膜载架（11）升、降运动的辅助换料单元，当掩膜对接台（1）移动至初始位置时，所述辅助换料单元可控制搭载有掩膜版的掩膜载架（11）上升，直至掩膜版脱离掩膜对接台（1）。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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