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龙图腾网获悉马鞍山智温优半导体科技有限公司申请的专利一种便于上料的半导体热板光刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222882943U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421985809.X，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种便于上料的半导体热板光刻设备是由何志森设计研发完成，并于2024-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种便于上料的半导体热板光刻设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种便于上料的半导体热板光刻设备，包括光刻机，所述光刻机的内部安装有换料台，所述换料台的表面固定连接有换料盒，所述换料盒有四个且均匀的分布在换料台的表面，驱动机构，驱动机构包括传动电机，所述传动电机的背面固定连接有固定板，所述固定板的底部固定连接有固定圈，所述固定圈的内壁滑动连接有齿圈，所述齿圈的表面啮合有主动齿轮，所述主动齿轮的顶部与传动电机的底部输出端固定连接，所述固定圈的内壁固定连接有固定筒。本实用新型使用时，在驱动机构和传动机构的作用下，能够对工件进行自动挤压固定，避免了传统光刻机换料台需要手动固定导致的复杂和麻烦，使其具备了自动固定工件的优点。

本实用新型一种便于上料的半导体热板光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种便于上料的半导体热板光刻设备，包括光刻机（1），所述光刻机（1）的内部安装有换料台（2），所述换料台（2）的表面固定连接有换料盒（3），所述换料盒（3）有四个且均匀的分布在换料台（2）的表面，其特征在于：驱动机构，驱动机构包括传动电机（4），所述传动电机（4）的背面固定连接有固定板（5），所述固定板（5）的底部固定连接有固定圈（29），所述固定圈（29）的内壁滑动连接有齿圈（6），所述齿圈（6）的表面啮合有主动齿轮（7），所述主动齿轮（7）的顶部与传动电机（4）的底部输出端固定连接，所述固定圈（29）的内壁固定连接有固定筒（8），所述固定筒（8）的顶部与换料台（2）的底部固定连接，所述固定筒（8）的底部固定连接有连接圈（9），所述连接圈（9）的底部与光刻机（1）内壁的底部活动连接；传动机构，传动机构包括传动齿轮（10），所述传动齿轮（10）有四个且均匀的分布在齿圈（6）的表面，所述传动齿轮（10）的内侧与齿圈（6）的表面相互啮合，所述传动齿轮（10）的内壁固定连接有连接杆（11），所述连接杆（11）的底部通过轴承座与连接圈（9）的顶部活动连接，所述连接杆（11）的顶部固定连接有锥齿轮一（12），所述锥齿轮一（12）的顶部啮合有锥齿轮二（13），所述锥齿轮二（13）的内壁固定连接有圆杆（14），所述圆杆（14）的外侧通过轴承活动连接有支撑板（15），所述支撑板（15）的底部与连接圈（9）的顶部固定连接，所述支撑板（15）的内侧设置有传动轮一（16），所述传动轮一（16）的表面活动连接有传动带（17），所述传动带（17）的内壁活动连接有传动轮二（18），所述传动轮二（18）的内壁固定连接有连接筒（19），所述连接筒（19）的表面与支撑板（15）的内壁活动连接，所述连接筒（19）的内壁滑动连接有滑动块（20），所述滑动块（20）的内侧固定连接有螺杆（21），所述螺杆（21）的内侧贯穿至换料盒（3）的内部且固定连接有压板（22），所述螺杆（21）的表面与换料盒（3）的内壁螺纹连接。

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