恭喜东京毅力科创株式会社田岛直树获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置用过滤器装置和清洁空气供给方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112485982B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010916170.X，技术领域涉及：G03F7/30；该发明授权基板处理装置用过滤器装置和清洁空气供给方法是由田岛直树;飞松武志设计研发完成，并于2020-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置用过滤器装置和清洁空气供给方法在说明书摘要公布了：本发明提供基板处理装置用过滤器装置和清洁空气供给方法。使经由过滤器对多个并列配置的基板处理装置供给的清洁空气的温度均匀。过滤器装置具有在并列地配置的多个基板处理装置的上方设置的过滤器，该过滤器装置构成为：在所述过滤器的上方形成的管空间的在所述基板处理装置的并列方向上的一端部侧形成有空气流入口，自所述空气流入口流入的空气被在上下方向上分隔所述管空间的气流引导构件从所述气流引导构件的前面侧向所述管空间的另一端部侧引导，被引导到所述另一端部侧的空气的至少一部分向所述气流引导构件的背面侧返回，并且，该过滤器装置构成为：所述管空间内的空气经由所述过滤器向所述基板处理装置流动。
本发明授权基板处理装置用过滤器装置和清洁空气供给方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置用过滤器装置，其具有在并列地配置的多个基板处理装置的上方设置的过滤器，其中，该基板处理装置用过滤器装置构成为：在所述过滤器的上方形成的管空间的在所述基板处理装置的并列方向上的一端部侧形成有空气流入口，自所述空气流入口流入的空气被在上下方向上分隔所述管空间的气流引导构件从所述气流引导构件的前面侧向所述管空间的另一端部侧引导，被引导到所述另一端部侧的空气的至少一部分向所述气流引导构件的背面侧返回，并且，该基板处理装置用过滤器装置构成为：所述管空间内的所述气流引导构件的前面侧的空气和所述气流引导构件的背面侧的空气随着从该管空间经由所述过滤器向下方的所述基板处理装置流动而混合。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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