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龙图腾网恭喜江西乾照光电有限公司申请的专利沉积设备及沉积方法、沉积设备中温度检测点的确定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111485284B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010455965.5，技术领域涉及：C30B25/10；该发明授权沉积设备及沉积方法、沉积设备中温度检测点的确定方法是由霍丽艳;滕龙;吴洪浩;谢祥彬;刘兆设计研发完成，并于2020-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本沉积设备及沉积方法、沉积设备中温度检测点的确定方法在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种沉积设备及沉积方法、以及沉积设备中温度检测点的确定方法，该沉积设备包括：壳体、位于壳体的沉积腔室内加热装置、载盘以及位于壳体外的温度检测装置，其中，加热装置用于给载盘进行加热，以通过载盘给衬底加热，沉积腔室沿预设方向划分成M个嵌套分布的温场，温度检测装置包括多个温度检测元件，温度检测元件与温场一一对应，用于检测其对应温场的温度，从而可以通过获取各个温度检测元件检测到的与其对应温场的温度，控制加热装置，使得各温场的温度相同或者在一定的误差范围内，以提高M个温场的温度均匀性，进而提高LED中外延结构生长过程中的波长的均匀性。

本发明授权沉积设备及沉积方法、沉积设备中温度检测点的确定方法在权利要求书中公布了：1.一种沉积设备，其特征在于，包括：壳体，所述壳体具有沉积腔室；位于所述沉积腔室内的加热装置；位于所述加热装置上方的载盘，所述载盘背离所述加热装置一侧表面用于放置衬底，所述加热装置用于给所述载盘进行加热，以通过所述载盘给所述衬底加热；位于所述壳体外的温度检测装置，所述温度检测装置位于所述载盘背离所述加热装置一侧，用于检测所述沉积腔室内的温度；所述壳体朝向温度检测装置一侧设置有沿所述载盘半径方向延伸的滑槽，温度检测元件通过固定装置固定在所述滑槽内；其中，所述沉积腔室沿预设方向划分成M个温场，所述M个温场嵌套分布，M为大于1的整数；所述温度检测装置包括多个温度检测元件，所述温度检测元件与所述温场一一对应，用于检测其对应温场的温度；所述载盘的直径为Xmm，第1温度检测元件到所述载盘中心的距离A1取值范围为0.04X～0.1X，包括端点值；第n温度检测元件到所述载盘中心的距离An取值范围为1.5nA1～4nA1，包括端点值；所述第n温度检测元件到所述载盘中心的距离An大于第n-1温度检测元件到所述载盘中心的距离An-1，n为大于1，且不大于M的整数。

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